Sistema de inspeção CMOS TR7900Q SII

por imagens de vídeode LEDcom câmera

Introdução
O TR7900Q SII é baseado numa plataforma de alta resolução 2,5 μm com tecnologia de imagem de 25 Mpix, destinado à indústria de semicondutores e advanced packaging. Algoritmos de IA e capacidades de metrologia melhoram a eficácia da solução Smart 3D AOI. O 3D SEMI AOI integra‑se totalmente com módulos loader/unloader para simplificar o manuseio de tiras e magazines. O Stop-and-Go 3D AOI inspeciona die bonding, wire/ball/ribbon/wedge bonding, SiP, underfill, SMD, bumps e juntas de solda. A solução Smart Factory AOI pode inspecionar diâmetros de fio até 15 μm (0,6 mil).

Características

• Deteção avançada de defeitos em packaging para wire bonding e die bonding
• AOI 3D de alta resolução 2,5 μm com capacidades de medição de nível metrológico
• Loader e unloader integrados para manuseio de magazines
• Deteção de fio por IA (opcional)
• Inspeção de fios Au, Al, Ag e Cu até 15 μm
• Inspeção de ligação: ball bond, wedge bond, ribbon bond
• Iluminação SWIR para detetar rachas internas e lascamento (opcional)
• Compatibilidade com sala limpa: Classe 1000 (ISO Classe 6, ISO 14644-1)

Sistema óptico (itens chave)
Método de imagem: Stop-and-Go Imaging
Câmara superior: 25 Mpix
Resolução de imagem: 2,5 μm
Iluminação: LED True Color multiphase
Tecnologia 3D: Projetores de franjas digitais quádruplos
Alcance máximo de altura 3D: 15 mm

Mesa de movimento & controlo (itens chave)
Controlo eixo X: Fuso de esferas + motor servo AC ou motor linear
Controlo eixo Y: Duplo fuso de esferas + motor servo AC ou duplo motor linear (opcional)
Controlo eixo Z: Fuso de esferas + motor servo AC (redutor opcional)
Resolução eixo X‑Y: 0,1 μm

Manuseio de placa / magazine (itens chave)
Qtd. máx. de magazines empilhados: 3 magazines (baseado na largura do magazine 125 mm)
Largura magazine: 50 - 175 mm
Comprimento magazine: 120 - 320 mm
Altura magazine: 80 - 150 mm
Largura strip*: 35 - 150 mm
Comprimento strip: 100 - 285 mm
Espessura strip: 0,1 - 1,5 mm
*Quando a largura da strip está entre 35–54 mm, é necessário design especial
Peso máx. da strip: 0,5 kg
Transportador / fixação da strip: Transportador de correia
Folga superior: 7 mm
Folga inferior: 10 mm
Folga de borda: 3 mm

Funções de inspeção (exemplos de defeitos detectáveis e medições)
Die bonding: ausente, orientação, rotação, deslocamento, inclinado, lascamento, racha, risco, material estranho; espessura da linha de união; epóxi no die; cobertura de epóxi; altura do epóxi
Wire bonding: partido, curto, sweep/sink, ausente, oscilação, colapso, altura do laço, fio caído, distância entre fios; rastreamento de fio; diâmetro do ball bond; posicionamento do ball; largura do stitch; cobertura do stitch sobre o ball; ball-off pad; clubbed ball; espessura do ball; ball levantado; low landing; união sobre contaminação; material estranho
Área de bonding / pad: protuberância de cobre; racha; lascamento; cobre exposto; níquel exposto; material alvo; riscos ou marcas; oxidação; material estranho

Dimensões & Peso
WxDxH (sem módulo auto carga/descarga): 990 x 1495 x 1700 mm
WxDxH (com módulo auto carga/descarga): 2065 x 1490 x 1700 mm
Nota: torre de sinal não incluída; altura da torre de sinal 515 mm
Peso: 823 kg (sem módulo auto); 989,5 kg (com módulo auto)

Notas
Módulos opcionais: deteção de fio por IA, iluminação SWIR e outros módulos opcionais podem estar disponíveis. O sistema integra módulos loader/unloader para facilitar o manuseio de tiras e magazines.

Especificações técnicas

• Modelo: TR7900Q SII
• Método de imagem: Stop-and-Go Imaging
• Resolução câmera top: 25 Mpix
• Resolução de imagem: 2,5 μm
• Iluminação: LED True Color multiphase (SWIR opcional)
• Tecnologia 3D: Projetores de franjas digitais quádruplos
• Alcance máximo de altura 3D: 15 mm
• Resolução eixo X‑Y: 0,1 μm
• Controlo eixo X: Fuso de esferas + motor servo AC ou motor linear
• Controlo eixo Y: Duplo fuso de esferas + motor servo AC ou duplo motor linear (opcional)
• Controlo eixo Z: Fuso de esferas + motor servo AC (redutor opcional)
• Max. magazines empilháveis: 3 (baseado em 125 mm)
• Largura magazine: 50 - 175 mm
• Comprimento magazine: 120 - 320 mm
• Altura magazine: 80 - 150 mm
• Largura strip: 35 - 150 mm (design especial para 35–54 mm)
• Comprimento strip: 100 - 285 mm
• Espessura strip: 0,1 - 1,5 mm
• Peso máx. strip: 0,5 kg
• Transportador / fixação: Transportador de correia
• Folgas: Superior 7 mm; Inferior 10 mm; Borda 3 mm
• WxDxH (sem loader): 990 x 1495 x 1700 mm
• WxDxH (com loader): 2065 x 1490 x 1700 mm
• Peso: 823 kg (sem loader); 989,5 kg (com loader)