Microscópio de força atômica

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Visão geral do produto
O microscópio de força atômica (AFM wafer-level) é um instrumento de sonda de varredura de alta resolução projetado para caracterizar a morfologia tridimensional de superfícies e propriedades multifuncionais de condutores, semicondutores e isolantes em escala de wafer, com aproximação automática da sonda e alta precisão de posicionamento.

Recursos

• Testes multifuncionais avançados: capacidades de medição incluem módulo de Young, adesão, imagem de domínio magnético, potencial de superfície, função trabalho e outras grandezas físicas.
• Ambiente adaptável: compatível com acessórios como placas de cultura e mesas aquecidas; suporta medições em fases de ar e líquido e operação em ambientes submersos e de alta temperatura.
• Aproximação de sonda inteligente: inserção automática da sonda por tecla única usando tubo de varredura piezoelétrico.
• Tamanho de amostra adaptável: projetado para manuseio de wafers de 12 polegadas e retrocompatível com wafers de 8, 6, 4 polegadas e fragmentos.

Indicadores técnicos

• Nível de ruído (XY): 0,2 nm (malha fechada), 0,02 nm (malha aberta).
• Nível de ruído (Z): 0,06 nm (malha fechada), 0,03 nm (malha aberta).
• Não linearidade: 0,15% (XY), 1% (Z).
• Modo de varredura: modo de varredura completa da sonda XYZ (a amostra permanece estacionária durante a varredura).
• Faixa de varredura: 90 μm × 90 μm × 9 μm.
• Taxa de varredura: 0,1 Hz a 30 Hz.
• Pontos de amostragem de imagem: de 32 × 32 até 4000 × 4000.
• Compatibilidade de tamanho de amostra: wafer de 12 polegadas; retrocompatível com wafers de 8, 6, 4 polegadas e fragmentos.
• Modos de trabalho: contato, tapping, não-contato.
• Ambientes adaptáveis: fases de ar e líquido.
• Modos de medição multifuncionais: EFM, KPFM, PFM, C-AFM, SCFM, MFM, LFM, nano-gravação/processamento, espectroscopia de força de ponto único, modo de modulação de força.
• Opcional: carregamento e descarregamento totalmente automáticos.
• Sistema de aproximação de sonda totalmente automático: curso de 35 mm, precisão de passo 50 nm.

Imagens representativas / casos reais

• Morfologia de amostra de proteína globular (modo tapping).
• Potencial do eletrodo faixa Au-Ti — escaneado por KPFM (modo lift), exemplo de varredura: 18 μm × 18 μm.
• Força eletrostática do eletrodo Au-Ti — EFM (modo lift), exemplo de varredura: 18 μm × 18 μm.
• Domínio magnético de filme fino Fe-Ni — MFM (modo lift), exemplo de varredura: 14 μm × 14 μm.
• Mapa de amplitude vertical piezoelétrica de PbTiO3 — PFM (modo contato), exemplo de varredura: 20 μm × 20 μm.
• Morfologia de esferas de poliestireno — modo tapping, exemplo de varredura: 10 μm × 10 μm.
• Imagens de morfologia de fibras de SiC.

Características / especificações

• Tipo de sonda: micro-cantilêver para caracterização 3D de superfícies.
• Resolução de imagem: até 20 picômetros (declaração do sistema).
• Estágio de posicionamento: estágio motorizado de posicionamento de amostra com imagem óptica; precisão de posicionamento 1 µm em uma área de 300 mm × 300 mm.
• Automação: aproximação de sonda automatizada e ajuste de parâmetros de varredura; opção de carregamento/descarga totalmente automático de wafers.
• Suporte de ambiente e amostras: suporta placas de cultura, estágios aquecidos, células líquidas e configurações de alta temperatura para condições experimentais flexíveis.
• Aplicações típicas: caracterização de materiais, imageamento de domínios magnéticos, mapeamento de potencial de superfície, mapeamento de resposta piezoelétrica, morfologia em escala nanométrica de amostras biológicas e inorgânicas.