積層構造用配置システム CHARON2

6 軸単軸3軸

CHARON2プラットフォームは、堅牢で信頼性が高く、エレガントに積み重ねられたアーキテクチャ上に構築されており、モジュール性とスケーラビリティの原則を念頭に置いて設計されています。 スタンドアロンの X 軸から最大 7 軸までの完全なモーションシステムまで開始します。 データシートの性能は、さまざまな電子回路構成で利用できます。 現在および将来のモジュールおよびオプションとの互換性により、最も広いアプリケーションスペースとユースケースをカバーできます。 この柔軟でスケーラブルで、モジュール式でアップグレード可能なプラットフォームは、すべての半導体アプリケーションや、医療、製薬、材料科学などの他の市場の多くのユースケースにエントリーレベルを提供します。 CHARON2プラットフォームは、すべてのサービス市場で継続的に進化しており、OEMの製品寿命延長とアップグレードパスをサポートしています。 ±1μmレベルの位置精度と優れた双方向再現性と高いダイナミクスを組み合わせることで、あらゆる技術分野および産業分野でのアプリケーション開発を支えます。 特徴 -トータルストローク：最大650mm x 410mm -9標準x 2エレクトロニクス= 既製の製品として18構成 -コンパクトなフットプリント -最大30Kgのペイロード -付属のオプションと機能：レール粒子吸引（ETEL特許）、カスタム信号、空気圧ライン、など。 -ISO1クリーンルーム対応 -Z3TM複合モジュールによるチップチルト補正 -チャックレベルでの真空供給 -短い移動とセトリング時間 主な仕様 -位置精度：XYでは±1 µm、Tでは±3アーク秒 -位置安定性：XYでは±2 nm、Tと±0.02アーク秒微細Zの場合は3nm -双方向の繰り返し精度：XYの場合は±0.4μm、Tの場合は±2アーク秒、微細Zの場合は±0.03μm