ディスプレイなし温度調節器 Semistat S 1200

熱電気プロセス

ポイント・オブ・ユース（POU）温度制御システムは、コンプレッサー・ベースのシステムと比較して、エネルギー消費を最大90％削減することができます。床下設置が可能なため、クリーンルームの使用を最小限に抑えることができます。プロセス温度プロファイルを±0.1 °Cまで迅速かつ正確に温度制御することで、ウェーハ間の均質性が向上します。 特長 低エネルギー消費のサーモエレクトリック式プロセスサーモスタット 無冷媒冷却技術による静かで低振動レベルの動作 フィルターやDIコンポーネントが不要 結露を防ぐため、清浄乾燥空気（CDA）でパージするための接続部付き 過フッ素化流体の使用 水冷システム コンパクトな全体サイズと軽量 極めて少ない伝熱液量 SEMI S2およびF47準拠 技術データ（DIN 12876に準拠） 温度安定性 0.1 ± K ヒーター出力 3 kW 最小充填量 1 L 最大充填量 1.3 L 寸法（幅x奥行x高さ） 116 x 232 x 470 mm 重量 15 kg 電源 PSCへの接続