温度調節システム Semistat S 4400

製品概要
Semistat S 4400 は、迅速かつ高精度な温度制御を必要とするプロセス用途向けのポイントオブユース（Point-of-Use）用サーモエレクトリック温度制御ユニットです。コンパクトな設計と床下設置オプションによりクリーンルームの占有面積を低減します。±0.1 K の高精度制御によりウェーハ間の均一性が向上し、コンプレッサー式システムに比べて大幅な省エネが可能です。

特長

• 低消費電力のプロセス用サーモエレクトリックサーモスタット
• 冷媒を使用しない冷却技術により静音・低振動で動作
• フィルターやDI（超純水）コンポーネントは不要
• 凝縮を防ぐためのクリーンドライエア（CDA）によるパージ接続
• パーフルオロ化流体を冷却媒として使用
• 水冷式設計
• コンパクトな外形と軽量設計
• 非常に少ない熱伝達液量
• SEMI S2 および F47 準拠

動作範囲

• 最小動作温度: -20 °C
• 最大動作温度: 90 °C
• 温度安定度: ±0.1 K

冷却能力（例）
温度 — 冷却能力 50 Hz — 冷却能力 60 Hz
20 °C — 4.4 kW — 4.4 kW
10 °C — 3.5 kW — 3.5 kW
0 °C — 2.6 kW — 2.6 kW
-10 °C — 1.65 kW — 1.65 kW
-20 °C — 0.7 kW — 0.7 kW

技術仕様（DIN 12876 に準拠）

• 動作温度範囲: -20 ... 90 °C
• 温度安定度: ±0.1 K
• 最小加熱出力: 12 kW
• 最小充填量: 2.5 L
• 最大充填量: 2.8 L
• 外形寸法（W×D×H）: 194 x 300 x 560 mm
• 質量: 38 kg
• 電源: Connection to PSC