リニアポジショニングステージ MX35

圧電3軸小型

35 x 45 mmのフットプリント 特に光学デバイスとサンプル用 ピエゾ電気慣性駆動の小型xyzポジショナー。 技術データ 幅 - 45 mm 高さ - 36 mm 奥行き - 35 mm 最大荷重荷重（3軸） Mx、My、Mz（運動量） - 1.5 Ncm ブロック力（Fx、Fy、Fz） - 2 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直方向偏差 - 2 um 横方向偏差 - 2 um