リニアポジショニングステージ MX35

XYZ軸圧電3軸

10^ （- 6） mbarまでの高真空の条件のため x、yおよびzの方向の10のmm旅行 35 x 45のmmの足跡 piezo電気慣性ドライブが付いているミニチュアxyzのポジシァヨナー。MX 35の真空の版。