リニアポジショニングステージ MS15

XYZ軸リニアモータ駆動3軸

10^ （- 6） mbarまでの高真空の条件のため x、yおよびzの方向の3.5 mm旅行 私達の有価証券の最も小さいプロダクト piezo折衷的な慣性ドライブが付いている超小さいミニチュア翻訳段階。MS15の真空の版。