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XYZ軸ポジショニングステージ MS15トランスレーション圧電3軸
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特徴
- 方向
- トランスレーション, XYZ軸
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 3軸
- その他の特徴
- コンパクト, 小型
- ストローク
3 mm
(0.118 in)- 速度
1.5 mm/s
- 積載量
6 g
(0.21 oz)
詳細
コンパクト設計
最小の製品
ピエゾ電気慣性駆動の超小型並進ステージ。
技術データ
幅 - 15 mm
高さ - 7 mm
奥行き - 15 mm
最大荷重荷重（3軸）
Mx、My、Mz（運動量） - 4 Ncm
ブロック力（Fx、Fy、Fz） - 3 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直方向の偏差 - 1 um
横方向偏差 - 2 um
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