リニアポジショニングステージ MX25

XYZ軸圧電3軸

最大 10 ^ (-6) mbar 2 mm までの高真空条件で、x、y、z 方向 25 x 35 mm フットプリント ミニチュア xyz ポジショナに、ピエゾ電気慣性駆動を備えています。 MX 25の真空版。