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リニアポジショニングステージ MX25XYZ軸圧電3軸
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特徴
- 方向
- リニア, XYZ軸
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 3軸
- その他の特徴
- 小型, 真空対応, ローラー
- ストローク
2 mm
(0.079 in)- 速度
1.2 mm/s
- 積載量
46 g
(1.62 oz)
詳細
10^(-6) mbarまでの高真空条件用
25 x 35 mmのフットプリント
ピエゾ電気慣性駆動の小型xyzポジショナー。MX 25の真空バージョン。
技術データ
幅 - 35 mm
高さ - 18.5 mm
奥行き - 25 mm
最大荷重荷重（3軸）
Mx、My、Mz（運動量） - 1.5 Ncm
ブロック力（Fx、Fy、Fz） - 2 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直方向偏差 - 2 um
横方向偏差 - 2 um
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