面取り磨き・艶出し機械 GC-KM202

エッジ

製品概要
GC-KM202は、ウェハ製造におけるシリコン棒の複数工程（角出し、面取り、研削、研磨）に対応する装置です。シリコン棒はワンステップで装着・締付けが可能です。高精度のターンテーブルにより各工程間で正確に位置決めし、全工程を完了します。片側角出し余量は≤0.2 mmで、シリコン材料のロスを最小限に抑えます。

適用分野

• シリコン棒の角出し
• 取り扱いおよび後工程のための面取り
• 寸法および表面仕上げのための研削
• 要求される表面粗さを得るための研磨

製品パラメータ

• 片側角出し余量 — ≤0.2 mm
• 加工効率 — 29分（例：長さ830 mm、M10アーク棒）
• 寸法公差 — ±0.04 mm
• 表面粗さ — Ra ≤ 0.1 μm

関連製品

• GC-MJ101R-3 単結晶トリミング機
• GC-MJ201R-3 単結晶トリミング機
• GC-MJ101RW 単結晶トリミング機
• GC-GP950L 単結晶研削・研磨機

特徴 / 技術仕様

• 型式：GC-KM202
• 工程統合：角出し、面取り、研削、研磨
• ワンステップでのシリコン棒の装着・締付け
• 複数ステーション間で正確な位置決めを行う高精度ターンテーブル
• 片側角出し余量 ≤0.2 mm（シリコンロスの最小化）
• 加工効率例：長さ830 mmのM10アーク棒で29分
• 寸法公差：±0.04 mm
• 表面粗さ：Ra ≤ 0.1 μm