セラミック製マニピュレーターアーム

ウェハー運搬用

アルミナセラミックと窒化アルミニウムは、通常、室内の静電チャックに使用されます。当社はエンドエフェクタ用のセラミックウエハ（一般にロボットの手と呼ばれる）を製造し、セラミックエンドエフェクタは良好な剛性と高強度を持っているため、ロボットアームはより早く最終位置まで安定することができます。エンドエフェクタは、位置間で半導体ウエハを処理したり移動したりするためのロボットアームの端を構成しています。