輪形セラミック

アルミナ絶縁

セラミック・フォーカス・リングは、半導体エッチング・プロセスにとって重要な部品です。エッチングチャンバー材料としてアルミニウム合金を選択した場合、金属粒子による汚染を引き起こしやすい。そのため、プラズマエッチング装置のチャンバー材料として、高純度（99.5％以上）のアルミナセラミックがセラミック・フォーカス・リングの製造に使用されています。 セラミックフォーカスリングの特徴 -耐摩耗性 -耐食性 -優れた機械的特性 -電気絶縁性、 -半導体製品の品質基準を満たす。 イノバセラは10年以上に渡り、セラミックソリューション、先端セラミック部品、半導体産業において豊富な経験を積んできました。高水準の品質システムと厳格な品質管理プロセスを確立し、製品の各バッチは厳格な品質検査を受けています。イノバセラのサービス理念は、品質要求と顧客満足を満たすことです。 アルミナセラミックフォーカスリングが必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。