輪形セラミック

ディスクアルミナ保護

半導体ウェハーキャリアアルミナディスクとセラミックエッジリング 高精度セラミック部品は、半導体ウェハープロセスの歩留まり管理を改善します。イノバセラのセラミック部品は、精密な寸法安定性、超平坦性と平滑性、および検査と加工中のウェハーの真空保持を提供します。低表面接触構造により、裏面パーティクルがウェーハ形状に悪影響を及ぼすリスクを最小限に抑え、精密なアプリケーションに対応します。 INNOVACERAのセラミックリングには、次のような利点があります： 1.耐摩耗性：アルミナは、非常に優れた耐摩耗性を持つ強靭なテクニカルセラミックです。 2.締め付け公差を持つ高精度寸法は、完璧な嵌合関係を得ることが容易です。 3.化学的不活性：ほとんどの強酸および強アルカリに耐性があります。 4.高温能力：酸化性および還元性雰囲気で1600℃まで耐える。 5.優れた機械的特性：硬度、圧縮強度、曲げ強度はステンレス鋼の方がはるかに高い。 6.電気絶縁性：絶縁破壊は少なくとも20KVです。 7.汚染や不純物を除去するために、高温での保護雰囲気または高真空。 8.高温下での耐薬品腐食性：強酸や強アルカリでも腐食しない。 9.他のテクニカルセラミックスに比べ、高水準の用途において材料コストが低い。