アルミナセラミック

アルミセラミック (Al₂O₃) 基板_半導体セラミック部品とノズルは、その優れた電気的、熱的、機械的特性により、ディスペンサー装置や電子発電機部品などの半導体プロセス装置に広く使用されています。 アルミセラミック基板は、非常に優れた電気絶縁性と高い熱伝導性を有しており、半導体産業において非常に重要な役割を果たしています。