輪形セラミック

アルミナ窒化ホウ素保護

アルミナセラミックインサートリングチャンバーは、アルミナ（Al₂O₃）のユニークな特性を活かして、極端なプラズマ環境で機能する耐プラズマコンポーネントの特殊なバリエーションです。 アルミナセラミックインサートリングチャンバーは、高い耐熱性、電気絶縁性、耐スパッタリング性により、保護バリアとスタビライザーの役割を果たす。重要なコンポーネント（例えば、電極、センサー）をイオンボンバードメントや化学的侵食から保護し、電流リーク/アーシングを防止し、均一なプラズマ分布（例えば、半導体エッチングにおいて）を保証し、反応性ガス汚染（例えば、Cl₂、F₂）に抵抗します。脆性と限られた熱衝撃耐性にもかかわらず、複合補強またはコーティング（例えば、窒化ホウ素）は、コストと性能のバランスを取りながら、半導体や航空宇宙のような極端なアプリケーションでの使用を強化します。