セラミックプレート

輪形窒化ホウ素絶縁

ホットプレス六方晶窒化ホウ素は、黒鉛に似た層構造を持つことから、しばしば「白色黒鉛」と呼ばれる。熱伝導率が高く、耐熱衝撃性に優れている。還元性雰囲気では2000℃まで、酸化性雰囲気では900℃まで安定です。高い機械加工性、低熱膨張、マイクロ波透過性、溶融金属、スラグ、ガラスに対する高い耐湿性などの特徴があります。窒化ホウ素セラミック部品は、PVD、MOCVD、MBEシステム、炉部品、溶解るつぼ、絶縁体、ワッシャー、ノズル、マイクロ波管、ヒートシンク、熱放射シールドとして広く使用されています。 MOCVDリアクターは、使用される化学薬品と反応しない材料で作られたチャンバーです。また、高温に耐えなければならない。このチャンバーは、リアクターの壁、ライナー、サセプター、ガス注入ユニット、温度制御ユニットで構成される。 MOCVDリアクターでは、基板はペデスタルによって支持され、ペデスタルはサセプターとしても機能する。ペデスタル／サセプターは、反応チャンバー内の熱エネルギーの主な発生源である。サセプターのみが加熱されるため、高温のウェーハ表面に到達する前にガスが反応することはない。しかし、コールドウォールリアクターの反応室壁は、高温のペデスタル／サセプターから放射される熱によって間接的に加熱されることはあっても、ペデスタル／サセプターおよびペデスタル／サセプターが支持する基板よりは低温に保たれる。窒化ホウ素を絶縁体として使用することで、発熱体の出力密度、動作温度、絶縁等級、絶縁耐力を大幅に向上させることができるため、窒化ホウ素は良い選択です。