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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - リソグラフィー - ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 200 µm
... み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI LabVIEW、およびすべての一般的なオペレーティ ングシ ステム（Windows、Linux、macOS）のサポートにより、事実上すべての環境で ...
Physik Instrumente
ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... 精度 - 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速 精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチ ...
Physik Instrumente
ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm
... 追従できず、その位置に留まります。動作周波数は最大20 kHzで、駆動部が直接ランナーに作用し、最大速度8 mm/sを達成します。8mm/sを達成する。 直接測定原理 リニア ステ ージには非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。分解能1nm。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニ クス光アライメント顕微鏡検査ビームライン装置半導体技術試験 ...
Physik Instrumente
ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント 精密オートメ ーション ...
Physik Instrumente
ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... mm、移動範囲：最大610 mm 精密ボールねじ、最大負荷容量50 kg ステッピ ングモーターまたはサーボモーター 折りたたみ式ドライブトレインによるコンパクト設計 垂直取り付け用保持ブレーキ付きモデル 要求の厳しい産業用アプリケ ーションで使用できる強力なリニア ステ ージ 高精度ボールねじ、高性能 ステッピ ングモータまたは同期サーボモータ、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ング、高精度ロータリーエンコーダにより、高負荷下でも信頼性の高い連続運転が可能です。オプ ションの保持ブレーキにより、Z軸として使用 ...
Physik Instrumente
ストローク: 102 mm - 813 mm
速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.5 µm
... N - イ ンクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ - 精密循環式ボールベアリ ング、最大荷重450 N - 側面のカバーストリップで異物から保護 リファレンスクラスリニア ポジ ショナー V-417により、PIは産業用ソリュー ションのポートフォリオにリニアモーター付き高精度リニア ステ ージを追加しました。V-417の設計は一貫して厳しい産業条件に対応し、高い剛性と高品質なコンポーネントの使用を特徴としています：高性能アイアンレスリニアモーター、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ングガイド、高精度 ...
Physik Instrumente
ストローク: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm
... 1nmのイ ンクリメンタルリニアモー ション 高精度位置エンコーダオプ ションイ ンクリメンタルおよびアブソリュート測定 コンパクトサイズ：80mm×25mm断面 高負荷容量と高い幾何学的性能を実現するクロスローラガイド アイアンコアおよびアイアンレス3相リニアモータを選択可能 リニアモータと超薄型設計のコンパクトな直線移動 ステ ージ 高精度リニア・モーター・ ステ ージのV-508ファミリーは、非常にコンパクトな薄型パッケ ージで高速性と高精度を提供します。これらのクローズドループ電動ナノ位置決め ステージは、高性能 ...
Physik Instrumente
ストローク: 102 mm - 407 mm
速度: 0.3 m/s
繰返し精度: 1 µm
... 幅 166 mm 精密ボールねじ イ ンクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ、各種分解能 精密リニアボールガイド、耐荷重450 N 側面のカバーストリップで異物から保護 要求の厳しい産業用アプリケ ーションに使用できる強力なリニア ステ ージ 高精度ボールねじ、高性能同期サーボモーター、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ングガイド、高精度ロータリエンコーダおよびリニアエンコーダにより、高負荷下での継続的で信頼性の高い動作が可能です。オプ ションの保持ブレーキにより、Z軸として使用できます。ボール ...
Physik Instrumente
ストローク: max 100.0 µm
... 特性： 3 軸変換シ ステムと2 軸傾斜シ ステムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換： 各方向に最大 100μmチルト：± 2mrad ソリッド ステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプ ション: 統合された測定シ ステム 光学 ステ ージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします ...
ストローク: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 反転した研究用顕微鏡用リニアモータ技術を備えたフラットトップ ステ ージHLD117シリーズは、利便性と性能の新しい基準を打ち立てています。 マイクロマニピュレータやインキュベー ションチャンバーなどの他のアイテムとシームレスに統合するように設計されており、 ステ ージの上面には障害物が完全に存在しません。 これにより、非常に人間工学に基づいたプラットフォームが提供され、サンプル領域に非常に簡単にアクセ スできます。 ...
Prior Scientific
ストローク: 108 mm
速度: 0.02 m/s
... HT1111LC ProScan™ ソリッドフレーム ステ ージは、直立顕微鏡および硬度試験用に設計されています。 HT1111LCは走行範囲 108mm x 108mm、0.7ミクロンの繰り返し性、最大 100kgの重量容量、およびPrior Scientific ProScanコントローラと併用した場合の驚異的な20ナノメートルの分解能を備えています。 ...
Prior Scientific
ストローク: 65 mm
速度: 0.01 m/s
... ProScan XY ステ ージ、ProScan IIIコントローラ、デュアルジポットコントロールを備えたPS3J100 ジョイ スティック、ユニバーサルホルダー、ソリッドアルミニウムプレート、2つのマイクロマニピュレータマウント、コンデンサースペーサーと4つの10mmピラスペーサーを備えた前の高精度電動 ZDeckクイック調整プラットフォームシ ステム。 ...
Prior Scientific
ストローク: 114, 75 mm
速度: 0.04, 0.02, 0.1, 0.05 m/s
... H117 ステ ージシリーズは、簡単にアクセ スできるように完全にフラットなトップを備え、インテリジェントスキャンテクノロジー（IST）を備えています。 広範なテストと組み合わせることで、ISTは各 ステ ージに固有の動作特性セットを事前にプログラムし、最適な性能を保証します。 ISTを使用すると、ProScan™ IIIコントローラは、優れた直交性とメトリック精度を維持するために必要な調整を行うことができます。 ...
Prior Scientific
ストローク: 71 mm - 240 mm
繰返し精度: 1 µm
積載量: 0 kg - 10 kg
... H138A ステ ージは、75 mm × 25 mmの顕微鏡用スライドを最大8枚載せることができるため、作業の生産性を高められます。正立顕微鏡用H138A ステ ージには、インテリジェントスキャ ニングテクノロジー（IST）が搭載されています（H101、H107、H117モデルにも搭載）。ISTは、さまざまなな試験に組み合わせることで、各 ステ ージ固有の動作特性を事前プログラムできるため、最適なパフォーマンスが得られます。ISTでは、ProScan®IIIコントローラが優れた直交性と計測精度を維持するために、 ...
Prior Scientific
