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... OAI Model 200IRマスクアライナーは、クリーンルームを必要としない卓上型システムです。研究開発または限定されたスケールのパイロット生産において、費用対効果の高い選択肢となります。革新的なエアベアリング/バキュームチャックレベリングシステムを採用し、基板を迅速かつ穏やかに水平にし、フォトマスクの平行アライメントとコンタクト露光時のウェーハ全体の均一なコンタクトを実現します。200IRマスクアライナーは、1ミクロンの解像度とアライメント精度を有しています。アライメントモジュールには、マスクインサートセットとクイックチェンジチャックを搭載しており、工具を使用せずに様々な基板やマスクの交換が可能です。アライメントモジュールには、X軸、Y軸、Z軸のマイクロメータを搭載しています。 信頼性の高いOAI光源を搭載し、200～2000WのランプでNear ...
... EVG® 610は、小型で多目的な研究開発システムで、最大200mmまでの小型基板とウェーハを処理できます。 EVG610は、バックサイドアライメントのオプションを備えた、真空/ハード/ソフト/近接露出モードなど、さまざまな標準リソグラフィプロセスをサポートします。 さらに、ボンドアライメントやナノインプリントリソグラフィー（NIL）などの追加機能も提供します。 EVG610は、数分未満の変換時間で、変化するユーザー要件のための迅速な処理と再ツールを提供します。 その高度なマルチユーザーコンセプトは、初心者からエキスパートレベルまで適応できるため、大学や研究開発アプリケーションに最適です。 最大200mm/8''のピースからウェハ/基板サイズまで、 トップサイドおよびボトムサイドのアライメント能力 高精度アライメントステージ 自動ウェッジ補償シーケンス 電動およびレシピ制御の露出ギャップ 最新のUV-LEDテクノロジーをサポート システムの設置面積と設備要件の最小化 ステップバイステップのプロセスガイダンス リモートテクニカルサポート マルチユーザーコンセプト ...
EV Group
... EVG® 620 NTは、ウェハサイズ150 mmまでの最小フットプリント領域で最先端のマスクアライメント技術を提供します。 汎用性と信頼性で知られるEVG620 NTは、最小限のフットプリント領域で最先端のマスクアライメント技術を提供し、高度なアライメント機能と最適化された総所有コストを組み合わせます。 半自動または自動構成で利用可能な光学両面リソグラフィに最適なツールです。オプションのフルハウジングGen 2ソリューションにより、大量生産要件と工場標準を満たすことができます。 オペレータに優しいソフトウェア、マスクや工具の変更にかかる時間を最小限に抑え、世界規模での効率的なサービスとサポートにより、あらゆる製造環境に理想的なソリューションとなります。 ...
EV Group
... 概要
本ウェーハ露光装置（Mask Aligner）は、高精細露光に最適化された独自のUV光学系と、フォトマスクとウェーハを高精度に平行化する機構を備えています。フルオート露光システムは、Vacuum contact、Soft Contact、Proximity Gapの3種類のギャップ制御モードに対応します。
用途
- パワーデバイス
- CMOSの裏面処理
- MEMS製造
- LED生産
- セラミック基板
主な仕様
- タイプ：フルオートタイプ（2〜12インチまたはスクエア形状対応）
- 光学系：高精細露光に最適化された独自のUV光学系
- ギャップ制御モード：Vacuum
... 概要
- 研究開発および少量生産向けに設計された卓上型ウェハ露光装置（マスクアライナー）。
- ハードコンタクト、ソフトコンタクト、プロキシミティギャップの3種類のギャップ制御に対応。
用途
- ガラス、ウェハ、フィルム、セラミック等の基板処理。
- 研究開発、試作、少量生産向け。
主な特長
- アライメント選択：手動または自動アライメントを選択可能。
- ギャップ制御選択：自動または手動でのギャップ調整。
- 手動での搬入/搬出により多様な基板に対応。
仕様
- 対応ワークサイズ：12インチ、6-8インチ、4-6インチ、2-4インチおよび正方形フォーマット。
- 搬入/搬出：手動。
- アライメント方式：手動または自動（選択可能）。
- ギャップ制御：自動または手動（選択可能）。
... 製品
LEDチップ製造向けの全自動ウェーハ露光装置（マスクアライナ）。Micro LEDおよび標準LEDウェーハに対応し、2〜4インチ兼用タイプと4〜6インチ兼用タイプの2機種を用意しています。
概要
異なるウェーハサイズ範囲をカバーするために、次の2タイプを提供します：
- 2〜4インチ兼用タイプ
- 4〜6インチ兼用タイプ
用途
研究開発および生産ラインでのMicro ...