Microscópio eletrônico NP6800

para análisesde mediçãode alta resolução

O Hitachi NP6800 é um sistema de sondagem dedicado baseado em SEM, concebido para satisfazer as necessidades analíticas do dispositivo semicondutor de nó de conceção de 10 nm e mais além. O atuador piezoelétrico de precisão está equipado com movimentos de sonda nos eixos X, Y e Z, permitindo que as sondas sejam controladas com grande precisão para medir as características eléctricas de um único transístor MOS. O conceito de conceção consistiu em criar um sistema de sondagem fácil de utilizar (como um sistema de sondagem ótica), mantendo a mesma facilidade de funcionamento, mesmo em ambiente de vácuo, através da nossa conceção intuitiva de funcionamento da sonda. - Este sistema de sondagem baseado em SEM é utilizado para analisar defeitos e falhas que se podem desenvolver durante o processo de fabrico de quaisquer dispositivos semicondutores à nanoescala. - O NP6800 Nano-Prober emprega uma fonte de electrões de emissão de campo frio optimizada, um sistema de oito sondas, um estágio com temperatura controlada de -40 F a 302 F (-40 deg. a 150 deg.), um sistema de medição AC (opcional) para deteção de resistência de porta, um sistema EBAC para localização de falhas curtas e abertas, e unidades de troca de sondas e amostras para o mais alto rendimento. - O NP6800 Nano-Prober foi desenvolvido como um sistema de nanossondagem dedicado, não só para operações de elevado rendimento, mas também para medições de elevada estabilidade de dispositivos semicondutores à escala nanométrica. O sistema é capaz de avaliar as características eléctricas, EBAC, EBIC, pulso IV e os requisitos de temperatura de dispositivos em nanoescala.