差圧流量計 MF570

密度質量空気用

概要
ATEQのMF570は、差圧によるマイクロ流量検査器で、短いサイクル時間と高精度な漏れ測定を両立します。ラミナーフロー素子による差圧低下と安定した流量測定を組み合わせ、測定要素は一つのモジュールに統合されています。SI、USA（SAE）、カスタム単位をサポートし、周囲温度と大気圧の表示に対応します。

用途

• 漏れ検出および流量管理
• バルブシート
• ギアボックス
• 油圧部品
• モーター
• エアロゾルの管理
• インジェクター

主な特長

• 流量測定範囲：2 / 20 / 200 ml/min
• 測定単位：SI、USA（SAE）、カスタム単位
• 周囲温度および大気圧表示
• 測定要素は一体モジュール
• ユーザープログラム：16

機械式圧力調整

• 真空
• 5–50 kPa
• 20–400 kPa
• 500–900 kPa
• 500–1600 kPa

電子式圧力調整

• 真空
• 1–10 kPa
• 5–50 kPa
• 20–200 kPa
• 50–500 kPa
• 100–1000 kPa
• 100–1600 kPa
• 100–2000 kPa

通信形式

• RS232：プリンター、PC、メモリモジュール
• RS232：インテリジェントRC5リモコン
• RS485：ATEQネットワーク
• 日時、言語・単位選択、テストカスタマイズ

環境 / 規格
ROHS準拠を表示。

測定範囲（流量）
範囲 | 精度 | 最大分解能
2 ml/min | ±2.5% of flow + 0.002 ml/min | 0.001 ml/min
20 ml/min | ±2.5% of flow + 0.02 ml/min | 0.01 ml/min
200 ml/min | ±2.5% of flow + 0.2 ml/min | 0.1 ml/min

圧力測定
範囲 | 精度 | 最大分解能
全範囲 | P + 2 digits | フルスケールの0.01%

技術
Mass Flow技術はラミナーフロー素子を通過する空気の質量を漏れ値（例：cm3.atm/h）に変換します。大きな漏れのあるワークをライン上でリセット不要で処理でき、空気質量測定に加熱素子を使用しないため汚染への感度が低減されています。本体は最大20 bar（300 PSI）までの高圧試験に対応し、温度補償を内蔵して条件変動時の精度を向上させます。

オプション

• 7入力 / 5出力
• シールコネクタ制御用2つの空気出力
• 外部接続用6×24Vプログラム出力
• 電子レギュレータ
• デュアルプレッシャー
• 高速バルブ
• 2系統アナログ出力（電流または電圧）
• フィールドバス

仕様 / 技術仕様

• モデル：MF570
• ブランド：ATEQ
• 重量：約7 kg
• 寸法（WxHxD）：537 × 157 × 381 mm
• 外部電源：24 VDC / 1.6 A または 110–240 VAC
• 動作温度：+10 °C〜+45 °C
• 保管温度：0 °C〜+60 °C
• インターフェース：ナビゲーションキー、4行LCD、結果表示ランプ
• 空気供給：清浄乾燥空気（ISO 8573-1 空気品質規格を適用）
• 流量範囲と精度：2 / 20 / 200 ml/min（上記参照）
• 圧力測定精度：P + 2 digits；最大分解能 0.01% FS
• 測定単位：SI、USA（SAE）、カスタム単位
• プログラム：16ユーザープログラム
• 測定要素：完全に統合されたモジュール
• 通信：RS232、RS485、リモコン対応、日時、言語・単位選択
• オプション/I/O：各種デジタル・空気出力、アナログ出力、フィールドバス対応