フィールドバス用試験機 MF520

流量圧力層流

概要
ATEQのMF520は、差圧降下と安定した流量測定により、短時間で精密なリーク測定を行う差圧式マイクロ流量テスターです。

用途

• バルブシートの漏れ検出・流量管理
• ギアボックス
• 油圧部品やモーター
• エアロゾルやインジェクターの管理

主な機能

• 測定レンジ：2 / 20 / 200 ml/min
• 測定単位：SI、USA（SAE）、カスタム単位
• 周囲温度および大気圧表示
• 測定素子を1モジュールに完全統合
• 適合規格：ROHS

通信形式

• RS232：プリンター、PC、メモリモジュール
• RS232：インテリジェントRC5リモコン
• RS485：ATEQネットワーク

機械式圧力制御

• 真空
• 5–50 kPa
• 20–400 kPa
• 500–900 kPa
• 500–1600 kPa

電子式圧力制御

• 真空
• 1–10 kPa
• 5–50 kPa
• 20–200 kPa
• 50–500 kPa
• 100–1000 kPa
• 100–1600 kPa
• 100–2000 kPa

測定レンジ
流量測定

• 2 ml/min — 精度：±2.5% of Flow + 0.002 ml/min — 最大分解能：0.001 ml/min
• 20 ml/min — 精度：±2.5% of Flow + 0.02 ml/min — 最大分解能：0.01 ml/min
• 200 ml/min — 精度：±2.5% of Flow + 0.2 ml/min — 最大分解能：0.1 ml/min

圧力測定

• 全レンジ — 精度：P + 2 digits — 最大分解能：フルスケールの0.1%

インターフェースと表示

• ナビゲーションキー
• 4行LCDディスプレイ
• 結果表示ランプ

電源と環境条件

• 外部電源：24 VDC / 1.6 A または 110–240 VAC
• 動作温度：+10°C〜+45°C
• 保管温度：0°C〜+60°C

オプション

• 7入力 / 5出力
• シールコネクタ制御用2つの空圧出力
• 外部接続用6 x 24 V プログラム可能出力
• 電子レギュレータ
• デュアルプレッシャー
• ハイスピードバルブ
• 2つのアナログ出力：電流または電圧
• フィールドバス

技術
Mass Flow技術は、ラミナーフロー素子を通る空気の質量を漏れ値（例：cm3.atm/h）に変換します。ライン上の大きな漏れを持つ部品にも対応でき、ユニットのリセットを必要としません。加熱素子を使用しないため汚染に対する感度が低く、温度補償を備えて変動環境での結果を改善します。空圧系により最大20 bar（300 psi）での高精度測定が可能です。

データシート
MF520の詳細な機能、性能、発注情報は製品のデータシートおよびファクトシートにてご参照ください。

技術仕様

• モデル：MF520
• ブランド：ATEQ
• 重量：約7 kg
• 寸法（W×H×D）：250 × 150 × 360 mm
• 流量レンジ：2 / 20 / 200 ml/min
• 圧力測定：精度 P + 2 digits、分解能 0.1% FS
• 機械式制御：真空 / 5–50 / 20–400 / 500–900 / 500–1600 kPa
• 電子式制御：真空 / 1–10 / 5–50 / 20–200 / 50–500 / 100–1000 / 100–1600 / 100–2000 kPa
• 外部電源：24 VDC/1.6 A または 110–240 VAC
• 動作：+10°C〜+45°C — 保管：0°C〜+60°C
• インターフェース：ナビゲーションキー、4行LCD、結果表示ランプ
• エア供給：クリーンで乾燥した空気（ISO 8573-1を適用）
• I/O & 制御：7入力 / 5出力、2空圧出力、6プログラム可能24 V出力、2アナログ出力、フィールドバス対応
• オプション：電子レギュレータ、デュアルプレッシャー、ハイスピードバルブ