製品概要KPEシリーズ KPE-VSS-300 は自社開発・検証済みの真空リフロー(はんだ付け)システムです。複数の顧客サンプル試験で性能を確認しており、半導体パワーモジュールやLEDのリフロー工程において低ボイド率かつ安定した長期稼働を実現します。
主な特長- 性能:到達真空度 ≤10 Pa、長時間動作温度 ≤400°C、温度均一性 ≤5°C、温度制御精度 ±1°C、ボイド率 ≤2%。
- 生産性向上:多室(マルチチャンバー)・インライン設計により、並列スレッドや複数工程の同時運用をサポートし、生産能力と歩留まりを向上。
- システム耐久性:水冷式フィルタによりスラグやフラックス残渣を効果的に除去し、安定稼働と寿命延伸を確保。
- 操作性:リアルタイム監視、データ・曲線の記録に対応。工程の可視化が容易で、ソフトウェア・HMIは直感的に操作可能。
技術仕様- 型式:KPE-VSS-300
- 到達真空度:≤10 Pa
- 長時間動作温度:≤400°C
- 温度均一性:≤5°C
- 温度制御精度:±1°C
- ボイド率:≤2%
- 構造・生産能力:多腔室設計、インラインはんだ付け、複数ライン/並列スレッド対応
- 保守:水冷フィルタシステムでスラグ・フラックス残渣を除去し、機器寿命を延長
- 操作・監視:リアルタイム監視、データ・曲線記録、工程管理・トレーサビリティに配慮したユーザーフレンドリーな画面
- 適用分野:半導体パワーモジュール、LED 等の真空リフローはんだ付け