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ストローク: 100, 200 µm
... な部品交換 メカニックと コントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタル コントローラのオートキャリブレー ション機能は、 コントローラの電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI ...
Physik Instrumente
ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロッ クドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチにより ...
Physik Instrumente
ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm
... 追従できず、その位置に留まります。動作周波数は最大20 kHzで、駆動部が直接ランナーに作用し、最大速度8 mm/sを達成します。8mm/sを達成する。 直接測定原理 リニア ステ ージには非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。分解能1nm。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニ クス光アライメント顕微鏡検査ビームライン装置半導体技術試験 ...
Physik Instrumente
ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...
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ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... リサーキュレーティ ングボールガイドは、高負荷容量と高動力設計です。モータの高分解能により、トラッキ ング性能の向上、トラッキ ングエラーの低減、セトリ ングタイムの短縮を実現しています。 同期サーボモーター 位置決め精度が高く、広い回転速度範囲で高い過負荷耐量を発揮します。高トルクと低慣性は、ドライブの高いダイナミ クスを保証します。これらのモータの長寿命、高性能、および 堅牢性により、産業オートメ ーション・アプリケ ーションで優れた結果を得ることができます。 ステッピ ングモーター 強力で低振動の2相 ステッピングモーター ...
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ストローク: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 2 µm
... 10-6 hPaまでの真空に対応 折りたたみ式で非常に コンパクト クローズドループDCモーター 非接触式リファレンススイッチとリミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 コンパクトなリニア ステ ージ、多目的に使用可能 ベルトドライブによる折りたたみ式で コンパクトなリニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 特に真空環境での使用において、アウトガスを低減。 ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、ベークアウト温度は80 ...
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ストローク: 32 mm
... - 幅わずか32mm、高さ8mm - 分解能0.75 µradのイ ンクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 - 最小3 µradまでのイ ンクリメンタルモー ション - 360°以上の回転範囲 - 速度45°/秒 製品概要 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーター ...
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ストローク: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm
... 1nmのイ ンクリメンタルリニアモー ション 高精度位置エンコーダオプ ションイ ンクリメンタルおよびアブソリュート測定 コンパクトサイズ：80mm×25mm断面 高負荷容量と高い幾何学的性能を実現するクロスローラガイド アイアンコアおよびアイアンレス3相リニアモータを選択可能 リニアモータと超薄型設計の コンパクトな直線移動 ステ ージ 高精度リニア・モーター・ ステ ージのV-508ファミリーは、非常に コンパクトな薄型パッケ ージで高速性と高精度を提供します。これらのクローズドループ電動ナノ位置決め ステージは、高性能 ...
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ストローク: 25, 5, 15 mm
速度: 1.5, 2, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 0.15, 2 µm
... 折りたたみ式で非常に コンパクト ステッピ ングモーターおよびクローズドループDCモーター 非接触リファレンスおよびリミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 大量生産が可能 真空に適したバリエ ーション コンパクトなリニア ステ ージ。 ベルトドライブによる折りたたみ式で コンパクトなリニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 駆動部 2相 ステッピ ングモーターまた はクローズドループDCギアモーター バックラッシュ補正付きねじスピンドルまたはボールねじ 位置測定 DC ...
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... 200°/s DC、BLDC、 ステッピ ングモーター 方向感知リファレンススイッチ 真空対応のバリエ ーションあり リファレンスクラス回転 ステ ージ ウォームギアによる高精度位置決め。プリロードピボットベアリ ングによる高い振れ精度35 mm Øのクリアアパーチャ。 回転方向は無制限。非接触リファレンススイッチL-511リニア ステ ージとL-310 ...
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