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繰返し精度: 50 nm
ストローク: 6, 11 mm
... .42は、ベースプレート直径わずか70mm、重量わずか200gの最もコンパクトな シス テムです。 SMARPOD 70.42は、ベースプレートの直径がわずか70mmという最小の六脚型モーション シス テムです。その全体的なコンパクトさにもかかわらず、最大5 Nの可搬重量をXとYに11 mmの移動範囲で位置決めできる、堅牢で精密な シス テムです。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボット・ポイントでの値です。 シス テム全体の寸法は、ポーズの違いにより大きくなる場合があります。詳細については、ダウンロードエリア ...
SmarAct GmbH
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 11, 20 mm
... ツール、コンポーネント、センサー用のマウンティングポストを取り付けることができ、 シス テムをマイクロアセンブリや精密なアライメントを必要とするその他のアプリケーションのための重要なツールに変えることができます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 シス テム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各 シス テムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ ...
SmarAct GmbH
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 42, 24 mm
... オプションとして、ベースプレートには、SMARPODの移動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを 配置するための取り付けポストを装備できます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 シス テム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各 シス テムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる ...
SmarAct GmbH
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 30, 50, 10 mm
... この中型SMARPODはSLC-17 ステージをベースにした平行オリエンテーションで、X方向に50mmのトラベルを提供します。 SMARPOD P-SLC-17は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-17はX方向に50mmと非常に大きな移動量を提供します。 回転トラベルの値は、トッププレートの表面にピボットポイントがある場合の値です。 ポーズによっては、 シス テム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳 ...
SmarAct GmbH
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 62, 102, 17 mm
... 移動量を提供する平行配向のSLC-24 ステージをベースにしています。 SMARPOD P-SLC-24は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。ほぼ同じサイズのP-SLC-24は、X方向に102mmと非常に大きな移動量を提供します。 P-SLC-24の回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 ポーズによっては、 シス テム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各 シス テムのトッププレートから約20mm上方 ...
SmarAct GmbH
繰返し精度: 100 nm
ストローク: 17, 62, 330 mm
... 使用し、X方向にはCLL ステージを使用します。この異なるリニア ステージの組み合わせにより、P-CLL-CLSはY方向のフットプリントを小さく保ちながら、X方向の移動範囲を最大1200mmまで拡大することができます。SMARPOD P-CLL-CLSには交換可能なドライブユニット（EDU）が装備されており、位置決め シス テムを完全に分解することなく、ピエゾドライブを簡単かつ迅速に交換することができます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 シス テム全体の寸法は、ポーズによって ...
SmarAct GmbH
... 大面積プロービングが可能 EBAC/EBICの高速イメージング 効率的で簡単 オールインワンのユーザーインターフェース すべてのプローブの自動ランディングとアライメント SEM画像内の "ポイント＆クリック "ナビゲーション グループ移動と " ステップ＆リピート" 試料とプローブのCADナビゲーション ...
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