高負荷ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... LT300 高精度高負荷リニアステージ 用途搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 特徴：ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体ピエゾブレーキ付きボールスクリューによるnm安定性 - 真空度：HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応 - 磁気: 磁気 - 潤滑： 液体～10E-8 / 乾式～10E-11 mbar - 最高ベークアウト温度120°C オプション - ピエゾブレーク付きも可能 - ...

積載量: 1 kg - 40 kg

... DT240 高荷重用回転ステージ ダイレクトドライブモーターを使用したこの堅牢な回転ステージは、産業環境での厳しい用途向けに開発されました。高 - 産業環境での高荷重アプリケーションに最適 - 最大400 Nの負荷容量 - 0.0001°までの高い繰り返し精度 - 堅牢な工業デザインによる防塵・防粒子性能 適用分野 レーザー技術、精密機械、特殊機械、計測技術における産業用ヘビーデューティーポジショニング 技術データ - 移動: nx360 deg - ...

... SR-4011は、高負荷に耐えるステンレススチール製ベアリングにより、非常に堅牢です。設置面積に比べ、高さが比較的低いため、平面位置決めシステムへの組み込みに最適です。 SR-4011回転ステージは、正方形のベースと直径9mmの開口部を備えています。高真空対応バージョンもあります。 メカニカル トラベル [- ∞] - ≥ 3 ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 3 最大法線力 [N] - 10 寸法 [mm] - 40 x 40 x 11 重量 [g] ...

ストローク: 5 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm

... 交換可能なドライブユニットを備えた非常にコンパクトな高荷重ステージで、垂直移動範囲は5 mm、最大5 Nの可搬重量を扱えます。 CHS-3232-1D-5は、スマーアクトで最もコンパクトな高荷重ステージです。取り付け穴パターンにより、CLS32シリーズのリニアステージやSR-3211回転ステージに直接取り付けることができます。サービス時には、位置決めセットアップ中に、交換可能なドライブユニットをステージから取り外すことができます。交換可能なドライブユニットは、ステージの側面から簡単にアクセスできます。負荷方向に沿ったまっすぐな移動は、独立したガイドウェイによって保証されます。位置センサーの統合により、ダイレクトフィードバックとクローズドループオペレーションを提供します。作動式ウェッジを採用した機械設計により、高分解能が保証されます。CHS-3232-1D-5は、科学や産業における高可用性アプリケーションに適しています。ステージは5Nの可搬重量に対応するため、追加の定荷重スプリングを装備することができます。 メカニカル 自由度 ...

ストローク: 10 mm
速度: 2 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... 交換可能なドライブユニットを装備した高荷重ステージは、10mmの垂直移動量を提供し、最大10Nの可搬重量を扱うことができます。 この高荷重ステージは、科学および産業における高可用性アプリケーションに適しています。スマーアクトの交換可能なドライブユニットを搭載しており、点検の際にピエゾドライブ全体をステージから取り外すことができます。ドライブユニットにはステージの側面からアクセスできるため、メンテナンス時に装置を位置決めセットアップから取り外す必要はありません。機械的な設計は、ステージの動きの最高の分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線的な移動が保証され、直接位置フィードバックとクローズドループ動作のための位置センサーの統合が可能です。CLS52シリーズやSR-5014のリニアステージに簡単にネジ止めできる取付穴パターンを備えています。オプションで、最大10Nまでの荷重に対応する定荷重スプリングを追加することができます。 メカニカル 最大リフト力 ...

ストローク: 20 mm
速度: 2 m/s
繰返し精度: 200, 40 nm

... このロングトラベル高荷重ステージは、スマーアクトの交換可能なドライブユニットを搭載しており、点検の際にピエゾドライブ全体をステージから取り外すことができます。ドライブユニットにはステージの側面からアクセスできるため、メンテナンス時に装置を位置決めセットアップから取り外す必要はありません。機械的な設計は、ステージの動きの最高の分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線的な移動が保証され、直接位置フィードバックとクローズドループ動作のための位置センサーの統合が可能です。取付穴パターンにより、CLS92シリーズのリニアステージに簡単にネジ止めできます。オプションとして、ご要望に応じて最大リフト力を増加させることができます。 メカニカル 最大リフト力リフト力 ...

ストローク: 1 mm
速度: 1 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm

... ナノメートルの精度で1mmの移動範囲で80Nを持ち上げることができる高荷重垂直ステージ。 SHLシリーズのリニアステージは、特に高荷重を扱うように設計されています。機械的設計は、ステージ動作の最高分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線移動が保証され、直接位置フィードバックと閉ループ動作のための位置センサーの統合が可能です。コンポーネントや機器を持ち上げるための純粋な垂直動作を目的としたステージには、積載量をさらに高い値までオフセットするための追加定力スプリングを装備することができます。 を追加することができます。したがって、数ミリメートルにわたって最大10キログラムを持ち上げることができるナノエンコードステージや、3次元すべてで高い阻止力を提供するSHLシリーズのリニアステージをベースにした多軸システムも可能です。 高可搬質量を提供しながらも、SlarAct ...

ストローク: 3 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm

... 取り付け方向に関係なく、5mmの範囲で最大5Nの高可搬質量を持ち上げることができる3DoF位置決めシステム SHLシリーズのリニアステージは高荷重を扱うために特別に設計されています。機械的設計は、ステージ動作の最高分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイが負荷方向に沿った直線移動を保証し、直接位置フィードバックと閉ループ動作のための位置センサの統合を可能にします。コンポーネントや機器を持ち上げるための純粋な垂直運動を目的としたステージには、積載量をさらに高い値までオフセットするための追加定力スプリングを装備することができます。 を追加することができます。したがって、数ミリメートルにわたって最大10キログラムを持ち上げることができるナノエンコードステージや、3次元すべてで高い阻止力を提供するSHLシリーズのリニアステージをベースにした多軸システムも可能です。 高可搬質量を提供しながらも、SlarAct ...