Estufa de recozimento 206A

de difusãode oxidaçãotérmica

Este forno horizontal é adequado para a produção de baterias solares e células fotovoltaicas (PV). 100 a 156 wafers quadrados podem ser processados em massa num lote de 200 a 400 wafers cada. Características Participação nº 1 no mercado nacional Manipula bolachas de 100 a 200 mm quadrados Lote: processamento de 200 a 400 wafers está disponível (depende do comprimento da zona plana e do passo do wafer) Aquecimento e arrefecimento rápidos, potência reduzida utilizando o aquecedor LGO exclusivo da KTS Esta bateria solar e célula fotovoltaica (PV) fabrica fornos horizontais de 125 mm quadrados e células fotovoltaicas de 156 mm quadrados e wafers de 6 e 8 polegadas. O forno ideal para a produção de células de bateria solar e fotovoltaicas (PV), pode realizar a difusão de fósforo, difusão de boro, oxidação pirogénica, oxidação húmida, oxidação seca, recozimento e outro processamento térmico do sistema de cristais usando POCl3, BBr3 e outros materiais.