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Estufa de câmara VF-3000H
de recozimentode nitruraçãopara altas temperaturas

Estufa de câmara - VF-3000H - Koyo Thermos Systems - de recozimento / de nitruração / para altas temperaturas
Estufa de câmara - VF-3000H - Koyo Thermos Systems - de recozimento / de nitruração / para altas temperaturas
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Características

Configuração
de câmara
Função
de recozimento, de nitruração
Outras características
para altas temperaturas, vertical
Temperatura máxima

MÍN: 700 °C
(1.292 °F)

MÁX: 1.400 °C
(2.552 °F)

Descrição

Um forno vertical que permite o processamento a alta temperatura, ideal para a fabricação de dispositivos de potência. Suporta oxinitriding e wafers de até 8 polegadas de tamanho. Possui um mecanismo automático de transferência de wafer, e pode ser usado para aplicações que variam de P&D à produção em massa. Funcionalidades Suporta tamanhos de lotes que variam de mini-batches a 50 wafers, e aplicações que variam de P&D a uso em linhas de produção em massa. Suporta uma ampla gama de tamanhos de wafer de até 8 polegadas. Permite o monitoramento da temperatura nas proximidades dos wafers. O interior do forno apresenta nossa construção proprietária sem metal. Suporta o processamento em série de diferentes processos de oxidação/oxinitretação (oxidação úmida/seca, recozimento H2, nitretação NH3, oxinitretação NO/N2O). Mecanismo de limpeza da câmara (opcional)

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.