Estufa de recozimento RLA-4106-V

de câmaraa vácuo

A capacidade de bloqueio de carga a vácuo melhora a capacidade de passagem. Suporta várias bolachas incluindo Si, GaN, e SiC. Características O bloqueio de carga a vácuo está equipado de série na câmara e unidade de transporte, para um elevado rendimento. Inclui uma função de transferência de susceptor automática para wafers SiC e GaN. As lâmpadas de halogéneo são instaladas tanto numa cruz superior como numa inferior. o controlo de 6 zonas permite um fácil controlo da relação de potência para cada zona. A medição sem contacto da temperatura da peça é realizada com termómetros radiativos, e o controlo de feedback é possível. Trata-se de equipamento de produção que utiliza múltiplas lâmpadas de halogéneo dispostas numa cruz superior e numa cruz inferior como fonte de calor, e que se destina ao recozimento rápido e de alta precisão de bolachas. A utilização de uma plataforma de transporte de vácuo recentemente desenvolvida permite o transporte e tratamento de peças numa atmosfera de oxigénio ultra-baixo.