Estufa com esteira transportadora VF-3000

verticalde oxidaçãocom atmosfera controlada

Este forno vertical de baixo preço, equipado com um transportador automático, pode ser utilizado para uma série de funções, desde I&D à produção em massa de wafers de 4 a 8 polegadas. Conseguimos um preço tão baixo que os utilizadores finais posteriores podem introduzir este forno. Está disponível um tratamento de ultra-alta temperatura, mais adequado para o fabrico de dispositivos de potência. Características Equipamento de baixo custo para utilizadores finais Mini lote, 50 a 75 wafers de processamento está disponível para I&D para linha de produção em massa estão disponíveis bolachas de 4 a 8 polegadas Máximo de 4 stocks de cassetes Excelente controlo de temperatura desde a gama de temperaturas baixas a médias altas utilizando um aquecedor LGO Transferência de bolachas a alta velocidade utilizando um único robot de manipulação de bolachas Equipado com sistema de controlo simples de função limitada Este forno pode ser utilizado para uma vasta gama de tamanhos de bolachas de 4 a 8 polegadas, e o processamento em 50-75 bolachas de mini lotes pode ser escolhido. Com o hardware e o conteúdo do sistema de controlo cuidadosamente seleccionados para alcançar um preço baixo, este forno vertical pode ser utilizado para uma vasta gama de funções, desde I&D a linhas de produção em massa. Escolher e utilizar um aquecedor adequado de um aquecedor LGO, aquecedor de disilicida de molibdénio (MoSi2) e aquecedor de carbono não só para recozimento a baixa temperatura, nitreto (Si3N4), polissilício (poli Si) e outros materiais LPCVD, oxidação e difusão, mas também para dispositivos de energia SiC, oxinitretação de silício, recozimento de activação e outros processos de tratamento a temperaturas ultra-elevadas.