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Forno de campânula RLA-3100
de oxidaçãode recozimentoa gás

Forno de campânula - RLA-3100 - Koyo Thermos Systems - de oxidação / de recozimento / a gás
Forno de campânula - RLA-3100 - Koyo Thermos Systems - de oxidação / de recozimento / a gás
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Características

Configuração
de campânula
Função
de oxidação, de recozimento
Fonte de calor
a gás
Atmosfera
a vácuo
Outras características
contínuo, para a indústria eletrônica
Temperatura máxima

MÍN: 400 °C
(752 °F)

MÁX: 1.200 °C
(2.192 °F)

Largura

900 mm
(35,43 in)

Altura

2.580 mm
(101,57 in)

Profundidade

1.850 mm
(72,83 in)

Descrição

Este sistema para 4 - às bolachas de 8 polegadas executa a ativação e a oxidação em uma atmosfera do ambiente do vácuo (LP) e do carga-fechamento do N2. As lâmpadas transversais superiores e mais baixas (halogênio) e um sistema embebendo são usados para uma uniformidade mais alta da distribuição da temperatura do em-plano. Características Estrutura transversal superior & mais baixa da lâmpada e para aquecer a unidade uniformizing para melhorar a uniformidade da temperatura do em-plano 4- à bolacha de 8 polegadas o tamanho está disponível o robô limpo da Multi-linha central permite transferência de alta velocidade e exata da bolacha Um processamento contínuo máximo de 50 bolachas está disponível Equipado com um sistema de controlo operador-amigável do elevado desempenho O tubo projetado vácuo de quartzo permite a substituição e o processo exatos do gás na pressão do vácuo

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

Outros produtos Koyo Thermos Systems

Semiconducteur equipment

* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.