結晶用研磨機 FTB300FP

ウェハー用産業用自動ヘッド交換装置付き

FTB300FP CMP装置は、JieXin社と日本の技術チームが共同開発したものです。本装置は、高いスループットとコストパフォーマンスを実現すると同時に、平坦化性能を向上させ、より高い技術要件（GBIR、SFQR）を満たすように設計されています。 ウェーハサイズ 12インチ以下 GBIR ＜100nm ロード・アンロード ドライイン・ウェットアウト 最適なハイエンド国産代替品 信頼性と安定性を重視したハイエンド国産代替品 高スループット 8つの研磨ヘッドと3つのワークステーションを装備し、生産性を向上させます。 柔軟なプロセス統合 ロボットアンローダーを洗浄システムと組み合わせ、乾燥処理を行うことが可能です。 低総コスト 消耗品の交換が容易で、耐用年数が長いため、ダウンタイムを削減します。