LAD7100は、フルカットやハーフカットなどのさまざまなプロセスに対応した全自動12インチツインスピンドルダイシングソーであり、高いダイシング効率とウェハーの自動洗浄機能を備え、お客様のスループットおよび品質要件を満たします。
Y軸の位置決め精度
0.002mm/310mm
ワークサイズ
最大12インチ
全自動かつ高効率なダイシング
高効率なウェーハダイシング、優れたハードウェア品質、そして継続的にアップグレードされるソフトウェアシステムにより、お客様はウェーハを効率的にダイシングすることができます。
精密なダイシングプロセスを必要とする半導体、光モジュール、LED業界のお客様向けに、8インチ用ダイシングソー、ウェーハ洗浄機、関連消耗品、および包括的なダイシングプロセスソリューションを提供しています。
LFD7100は、最大12"のワークピースのダイシング用に設計された全自動12"ツインスピンドルダイシングソーです。 2つの高出力対向スピンドル、Z1軸およびZ2軸の両方に搭載された専用顕微鏡、標準仕様でのNCSおよびBBDを備え、さらにロード、アライメント、ダイシング、洗浄からアンロードに至るまでの自動化と相まって、アライメント、検査、ロード/アンロードに必要な時間を大幅に短縮し、人件費の削減と生産効率の向上を実現します。
高効率
2本のスピンドルが連携して12インチウェーハを自動かつ効率的にダイシングし、サイクルタイムの短縮を実現します。
全自動
ウェーハの自動ロード・アンロード、自動洗浄により、必要な作業員数を削減します。
高い適応性
NCS(非接触セットアップ)およびBBD(ブレード破損検知)が標準機能として搭載されています。
使いやすさ
ユーザーフレンドリーな操作インターフェース、お客様のご要望に応じたソフトウェアのアップグレード、お客様によるデータインポートが容易です。
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