BM313A 多機能ダイボンダーは、主に半導体用SiC圧力補助型Ag焼結製品のダイボンディング用に設計されており、将来的には光モジュール、センサー、金属パッケージのダイボンディングにも応用可能です。
国内製ハイエンド代替品として最適な選択肢
高速かつ高精度なダイボンディング、柔軟な構成が可能なモジュール式設計、そして安定かつ信頼性の高い性能により、お客様の信頼と支持を獲得します。
精密制御
高精度なX/Y/Z軸制御、閉ループ方式のプログラム可能な荷重・温度制御、自動精度校正システム、多機能カメラシステム
モジュール式設計
予熱モジュール、静的Gel-Pak、フィーダーローディング、全自動ウェーハロード/アンロードシステム(オプション)
インテリジェントディスプレイ
マッピングの可視化、荷重制御曲線の可視化、ダイボンディング精度出力の可視化
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