チャンバー炉

結晶成長電動不活性ガス

不活性雰囲気下で黒鉛抵抗ヒーターを用いてシリコン材料を溶融し、CZ法により転位のない単結晶シリコンインゴット（シリコン部品用）を自動的に成長させることができます。24インチインゴットに対応しており、超伝導磁場との互換性があります。 引き上げチャンバーの直径 650mm 超大型インゴットの成長が可能 26' 大型・高品質 高精度制御システム 高度なモニタリングおよびフィードバックシステム、オプションの磁場、シリコン部品に使用される26'の超大型インゴットの成長が可能 高精度制御 完全な磁場制御システム、最新のソフトウェア制御システム、ビジョンシステム、および超高精度伝動システムを備えており、装置の精密な制御と長期にわたる安定した稼働を保証します。 大型サイズ 市場で主流のすべてのインゴットサイズに対応し、最大サイズは26'まで可能です。 カスタマイズ可能 ホットゾーン構造や磁場構成などに関するソリューションを開発し、お客様の多様なニーズに応えるカスタマイズ製品を提供します。