水発射洗浄機 LAC200

自動ウェハー用プロセス

LAC200は、ダイシングソーで切断されたウェーハを洗浄するために設計された、経済的な8インチウェーハ洗浄機です。噴霧システムを活用し、高圧のミスト液滴を発生させて、ワークピースの表面やダイシングストリートを洗浄します。 コンパクトで整然とした設計 経済的な洗浄機で、設置面積が小さく、消費電力が低く、優れた洗浄効果・性能を発揮します。 LAC200は、ダイシングソーで切断された最大8インチのウェーハを洗浄するために設計された8インチウェーハ洗浄機です。 噴霧システムを活用し、高圧のミスト液滴を発生させてワークピースの表面やダイシングストリートを洗浄します。ダイシング後の洗浄・乾燥工程において、自動ダイシングソーと組み合わせて使用されます。 高効率 設置面積が小さく、高効率で、低騒音 幅広い互換性 3～8インチのウェーハに対応 最大250×250mmの正方形のワークピースに対応 操作が簡単 複数の洗浄モードを備え、素早い切り替えが可能