INNOVACERA® PBNセラミック部品には、PBNディスク、PBNシート、PBNフィラメントリング、PBN VGFるつぼ、PBN LECるつぼ、PBN MBEるつぼ、PBNコニカルるつぼ、その他PBN機械加工カスタム部品があります。
PBNは、六方晶窒化ホウ素のグレードです。その堅牢なボディを作るために化学蒸着プロセスによって作られ、すべての窒化ホウ素の結晶は蒸気が蒸着された表面と平行に成長します。CVDプロセスの性質上、PBN製品は一般的に製品を要求します。肉厚の製品は3mm以下です。また、PBNは極めて高純度の窒化ホウ素に適しています。ガス材料(BCl3 + NH3 -> BN +HCl)の純度は通常の窒化ホウ素粉末よりもはるかに高いため、PBNの純度はかなり高く、99.99%が平均グレードです。高純度、高機械強度、溶融金属に対する性能、塩類など、PBNは高真空プロセスで広く使用される材料になりつつある。融点を示さず、熱伝導率が高い熱分解物は、真空炉部品として最適である。CVD処理により、このPBNはほぼ完全な層状構造となり、熱伝導率に異方性が生じるため、結晶成長用のルツボの材料として理想的です。
分子線エピタキシー(MBE)は、ガリウムGaAs結晶製造の標準的なプロセスであり、PBNはMBEルツボを作るのに理想的な材料です。
INNOVACERA® Performance Pyrolytic Boron Nitrideの特性は以下のとおりです:
熱伝導率が良い
高い絶縁抵抗
広い温度範囲での高い絶縁耐力
極めて高い純度
ノンウエット
非毒性
他のほとんどの化合物に対して非反応性
高温・急冷に耐える
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