セラミックプレート

窒化ホウ素絶縁

熱分解窒化ホウ素(PBN)は一種の先端セラミックであり、熱分解窒化ホウ素PBNディスクと他の熱分解窒化ホウ素製品は、高温・低圧でBCl3とNH3を用いて、化学気相成長(CVD)プロセスにより金型上で合成されます。PBN製品は、ガス原料の純度を制御しやすいため、非常に高純度です。通常、PBN製品の総不純物は100ppm未満であり、これは純度が99.99％以上であることを意味する。窓ガラスに最適な材料です。 真空マイクロ波装置の主要メーカーは、アルミナとベリリアセラミックを入出力窓バリアの主材料として使用しています。現在、窒化アルミニウムはこれらの従来の材料に代わる可能性があると考えられている。一方、よく知られている熱分解窒化ホウ素（PBN）は、ED開発者の大部分によって過小評価されたままの材料であるようだ。高出力マイクロ波電子デバイスの窓材としての熱分解窒化ホウ素板。