熱分解窒化ホウ素は、六方晶窒化ホウ素の一種です。窒化ホウ素の結晶はすべて、蒸気が蒸着された表面に平行に成長します。
CVDプロセスの性質上、PBN部品は一般的に3mm以下の肉厚が要求されます。PBNはまた、窒化ホウ素の純度が非常に高いため、良い選択です。 99.99%が代表的なグレードです。CVDプロセスは、この熱分解窒化ホウ素にほぼ完全な層状構造を与え、これが熱伝導率の異方性につながり、結晶成長用のるつぼを作るのに理想的な材料になります。
熱分解窒化ホウ素セラミックスの用途
結晶成長(VGF、LECルツボ)
分子線エピタキシー(MBE)るつぼ
MOCVDヒーター
PBN赤外線ウィンドウ
トラベリングウェーブチューブ(TWT) (PBN サポートロッド)
PBNコーティンググラファイト
高温真空装置用絶縁体
熱分解窒化ホウ素セラミックスの特徴:
PBNの色は象牙色と橙褐色で、無毒、無孔質、加工しやすい。
純度は99.99%で、表面緻密化、ガスバリア性に優れる。
温度が上昇すると強度が増し、2200℃でピークに達する。
耐酸性、耐アルカリ性、耐塩性、耐有機試薬性。一方、溶融金属や半導体材料の大部分とは反応しない。
優れた耐熱衝撃性、優れた熱伝導性、低熱膨張係数。
高抵抗、高誘電率、低誘電率、低誘電正接、優れたマイクロ波、赤外線能力。
力学、熱、電気に異方性がある。
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