INNOVACERA は、ディスク、シート、フィラメントリング、VGF るつぼ、LEC るつぼ、MBE るつぼ、円錐るつぼ、およびカスタム加工部品など、幅広い PBN セラミック部品を製造しています。
熱分解窒化ホウ素(PBN)は、化学気相成長(CVD)プロセスを使用して六方晶窒化ホウ素(hBN)から得られる高純度材料です。この方法では、窒化ホウ素の結晶が基板と平行に配列されるため、非常に優れた純度(99.99%)と耐久性が得られます。PBNのCVD構造により、肉厚は3mmに制限されますが、高い機械的強度が得られるため、高真空環境や溶融金属用途に最適です。
熱伝導率の異方性や高温への耐性など、そのユニークな熱特性により、PBNは真空炉部品や結晶成長るつぼに好まれる材料となっています。ガリウムヒ素(GaAs)結晶製造の標準プロセスである分子線エピタキシー(MBE)において、PBNるつぼはその優れた性能により優れています。
PBNの主な特性は以下の通りです:
- 優れた熱伝導性
- 高い絶縁抵抗
- 広い温度範囲にわたる卓越した絶縁耐力
- 超高純度
- 非濡れ性
- 無毒性で化学的に不活性
- 高温および熱衝撃への耐性
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