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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸 精度 - ゼロプレイ、 高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
Physik Instrumente
ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... - 省スペース・軽量 - 高いガイド 精度 - 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダ ...
Physik Instrumente
... 200°/s DC、BLDC、 ステッピ ングモーター 方向感知リファレンススイッチ 真空対応のバリエ ーションあり リファレンスクラス回転 ステ ージ ウォームギアによる 高精度位置決め。プリロードピボットベアリ ングによる高い振れ 精度35 ...
Physik Instrumente
ストローク: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
繰返し精度: 0.1 µm
... - スキャ ニングアプリケ ーションや 高精度位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モー ションプラットフォームのサイズ 160 mm × 200 mm - 耐荷重100 N PIglide位置決めシ ステムは、磁気リニアモーター、磁気予圧空気軸受、光学式リニアエンコーダを備えています：非接触で摩擦のない動きにより、最高の 精度と信頼性を実現 アクセサリーとオプ ション - ...
Physik Instrumente
ストローク: 50 mm - 350 mm
速度: 1 m/s
繰返し精度: 0.25 µm
... リニアモータは、 ステ ージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動できます。プリロードエアベアリ ング構造により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 アクセサリーとオプ ション エンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 多軸モー ションコントローラとダイレクトドライブ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエ ーション 垂直アセンブリ用のカウンターバランスオプ ション 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム 応用分野 PIglide位置決めシ ステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...
Physik Instrumente
ストローク: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 0.25 mm
... 搭載のエアベアリ ングZチップ/チルト ステ ージです。パラレルキネマティック多軸シ ステムとして設計され、このプラットフォームはZおよびチップ/チルトモー ションに使用できます。この ステ ージは、超 高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモー ションプラットフォームが実現しました。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチュー ニングの最適化を適用したZ ステ ージの設定と配線を ...
Physik Instrumente
ストローク: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
繰返し精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... 紹介します。METISは、 ステップ・スキャン・アプリケ ーション用に設計された最先端のハイブリッド平面メカニカル／エア・ベアリ ング・プラットフォームで、4自由度にわたって比類のない 精度、移動・定着時間、速度安定性を保証します。 METISプラットフォームは最先端のハイブリッド平面メカニカル/エアベアリ ングプラットフォームで、X、Y、Z、θ方向の4軸移動が可能な ステップおよびスキャンアプリケ ーション専用です。全移動範囲にわたるダイナミックな平坦性と双方向の繰り返し 精度により、 高精度な作業に最適です。METIS ...
ストローク: max 100.0 µm
... 特性： 3 軸変換シ ステムと2 軸傾斜シ ステムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換： 各方向に最大 100μmチルト：± 2mrad ソリッド ステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプ ション: 統合された測定シ ステム 光学 ステ ージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします ...
ストローク: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 反転した研究用顕微鏡用リニアモータ技術を備えたフラットトップ ステ ージHLD117シリーズは、利便性と性能の新しい基準を打ち立てています。 マイクロマニピュレータやインキュベー ションチャンバーなどの他のアイテムとシームレスに統合するように設計されており、 ステ ージの上面には障害物が完全に存在しません。 これにより、非常に人間工学に基づいたプラットフォームが提供され、サンプル領域に非常に簡単にアクセ スできます。 ...
Prior Scientific
ストローク: 71 mm - 240 mm
繰返し精度: 1 µm
積載量: 0 kg - 10 kg
... H138A ステ ージは、75 mm × 25 mmの顕微鏡用スライドを最大8枚載せることができるため、作業の生産性を高められます。正立顕微鏡用H138A ステ ージには、インテリジェントスキャ ニングテクノロジー（IST）が搭載されています（H101、H107、H117モデルにも搭載）。ISTは、さまざまなな試験に組み合わせることで、各 ステ ージ固有の動作特性を事前プログラムできるため、最適なパフォーマンスが得られます。ISTでは、ProScan®IIIコントローラが優れた直交性と計測 精度を維持するために、 ...
Prior Scientific