デジタルパーティクルカウンタ A20-HF bCPC

凝縮式クリーンルーム用USB

製品概要
A20‑HF bCPC は、超クリーン環境および高周波数フラックス測定向けに設計された高流量凝縮粒子計数器です。サンプル流量は 2.3 lpm で、標準的な CPC よりも検出器へ有意に多くのサンプル量を供給します。作動流体は n‑ブタノールまたは、ブタノール使用が制限される場合の無臭・非可燃のプロピレングリコール（PG）を選択可能です。デフォルトは 1 Hz ログ、10 Hz または生パルス出力オプションにより Eddy Covariance による直接フラックス計算が可能。装置自体の微粒子排出はゼロでクリーンルーム対応です。

用途

• 半導体およびクリーンルームの汚染監視（ISO 14644）
• フラックスタワー上での Eddy Covariance 乱流フラックス測定
• 微粒子濃度が低く、1 カウントが重要な用途

技術とバリアント

• 高流量下での粒子成長を可能にする拡張型コンデンサー
• A20 系列で一貫したパルス幅を維持する大型ノズル
• 無臭・非可燃の PG バリアント（ブタノール代替）
• 装置による粒子放出ゼロでクリーンルーム適合
• 高周波／フラックス用途向けに 10 Hz ロギングおよび生パルス出力対応

特長と利点

• 高サンプル流量：2.3 lpm
• カットオフ 7 nm（4–10 nm はオプション）
• 装置自体の粒子放出ゼロ
• 使いやすいタッチスクリーン
• デフォルト 1 Hz、10 Hz または生パルス出力オプション
• クリーンルーム及び半導体用途に対応
• Eddy Covariance フラックス測定に対応

注記
* カットオフは移動度等価直径（銀粒子）で表示。カスタム校正（4–10 nm）は要望により対応可能。10 nm オプションは EN 16976:2024 対応を提供します。** 光学系を通る高流量設計により、一部の CEN/UF 変種より最大濃度が低くなります（100,000 #/cm³ 対 150,000 #/cm³）。

技術仕様

• 型式：A20‑HF bCPC
• 粒径範囲：7 nm ～ 2.5 μm *
• カットオフ (Dp50%)：標準 7 nm（4–10 nm はオプション）
• 濃度範囲：0 ～ 100,000 #/cm³（単一粒子計数モード）
• エアロゾル入口／サンプル流量：2.3 lpm（光学系を通る全流量）
• 応答時間：t95 < 1.15 s
• 誤カウント：< 0.001 #/cm³
• 作動流体：n‑ブタノール（>99.5%）またはプロピレングリコール（有償オプション）
• データ記録：デフォルト 1 Hz、10 Hz または生パルス出力オプション（PNC アナログ出力経由）
• サンプル条件：圧力 75–105 kPa；露点 < 15°C
• 環境条件：温度 15–35°C；圧力 75–105 kPa；相対湿度 0–95%
• 通信：アナログ出力（BNC 0–10 V）、パルス出力（BNC）、RS‑232、Ethernet (RJ45)、USB Type‑B
• 診断：流量、サチュレーター/コンデンサー/光学温度、液面、ノズル圧、臨界オリフィス圧、レーザー電流、パルス品質
• 継手：入口 1/4" ステンレス管；外部真空 1/4" ステンレス管（内蔵ポンプはオプション）
• ソフトウェア：Airmodus MultiLogger (Windows 10+)
• 外部真空要件：100–400 mbar（NTP 条件）または入口圧の <40%
• 電源：外部アダプタ 100–240 VAC 50/60 Hz、最大 160 W；定常 100 W；出力 12 VDC 11.5 A
• 寸法・質量：260 × 230 × 400 mm (H × W × D)、8.5 kg
• 輸送条件：温度 0–40°C；相対湿度 <95%（結露無きこと）；垂直梱包