CMOS検査機器 TR7900Q SII

ビデオ ビジョンLEDカメラ型

導入
TR7900Q SII は、半導体および高度パッケージング産業向けに設計された、2.5 μm 高分解能プラットフォーム上の 25 Mpix イメージング技術を搭載しています。AI アルゴリズムと計測機能により Smart 3D AOI の性能が向上します。3D SEMI AOI はローダー／アンローダー モジュールと完全に統合され、ストリップやマガジンの取り扱いを容易にします。Stop-and-Go 3D AOI はダイボンディング、ワイヤ／ボール／リボン／ウェッジボンド、SiP、アンダーフィル、SMD、バンプ、はんだ接合を検査できます。Smart Factory AOI は 15 μm（0.6 mil）までのワイヤ径を検査可能です。

特長

• ワイヤボンディングおよびダイボンディングのパッケージ欠陥検出（高精度）
• 2.5 μm 高分解能 3D AOI（計測グレードの測定機能）
• マガジン操作用のビルトインローダー／アンローダー
• AI によるワイヤ検出（オプション）
• Au、Al、Ag、Cu ワイヤを 15 μm まで検査
• ボンド検査：ボールボンド、ウェッジボンド、リボンボンド
• 内側のクラックやチッピングを検出する SWIR 照明（オプション）
• クリーンルーム対応：クラス 1000（ISO クラス 6、ISO 14644-1）

光学系（主要項目）
イメージング方式：Stop-and-Go Imaging
トップカメラ：25 Mpix
イメージング解像度：2.5 μm
照明：マルチフェーズ True Color LED
3D 技術：Quad デジタルフリンジプロジェクター
最大 3D 高さレンジ：15 mm

モーションテーブル＆制御（主要項目）
X 軸制御：ボールねじ + AC サーボモーター または リニアモーター
Y 軸制御：デュアルボールねじ + AC サーボモーター または デュアルリニアモーター（オプション）
Z 軸制御：ボールねじ + AC サーボモーター（減速機オプション）
X-Y 軸分解能：0.1 μm

基板 / マガジン取り扱い（主要項目）
最大積載マガジン数：3（マガジン幅 125 mm 基準）
マガジン幅：50 - 175 mm
マガジン長さ：120 - 320 mm
マガジン高さ：80 - 150 mm
ストリップ幅*: 35 - 150 mm
ストリップ長さ：100 - 285 mm
ストリップ厚さ：0.1 - 1.5 mm
*ストリップ幅が 35–54 mm の場合は特別設計が必要
最大ストリップ重量：0.5 kg
ストリップ搬送／固定：ベルトコンベヤ
上クリアランス：7 mm
下クリアランス：10 mm
エッジクリアランス：3 mm

検査機能（検出例および測定項目）
ダイボンディング：欠落、向き、回転、ずれ、傾き、チッピング、クラック、キズ、異物；ボンドライン厚；ダイ上のエポキシ；エポキシ被覆；エポキシ高さ
ワイヤボンディング：断線、ショート、スイープ/シンク、欠落、揺れ、崩壊、ループ高さ、たるみ線、クロスワイヤギャップ；ワイヤ追跡；ボールボンド直径；ボール位置；ステッチ幅；ボール上のステッチ被覆；ボールオフパッド；クラブドボール；ボール厚；リフトボール；ローランディング；汚染上のボンド；異物
ボンディング領域 / パッド：銅突出；クラック；チッピング；露出銅；露出ニッケル；対象材料；擦り傷やブラシ跡；酸化；異物

寸法と重量
WxDxH（オートロード/アンロードモジュール無し）：990 x 1495 x 1700 mm
WxDxH（オートロード/アンロードモジュール有り）：2065 x 1490 x 1700 mm
注意：シグナルタワーは含まず；シグナルタワー高さ 515 mm
重量：823 kg（モジュール無し）；989.5 kg（モジュール有り）

備考
オプションモジュール：AI ワイヤ検出、SWIR 照明および他のオプションモジュールが利用可能な場合があります。システムはストリップとマガジンの取り扱いを容易にするローダー／アンローダーモジュールを統合します。

技術仕様

• モデル：TR7900Q SII
• イメージング方式：Stop-and-Go Imaging
• トップカメラ解像度：25 Mpix
• イメージング解像度：2.5 μm
• 照明：マルチフェーズ True Color LED（SWIR オプション）
• 3D 技術：Quad デジタルフリンジプロジェクター
• 最大 3D 高さレンジ：15 mm
• X-Y 軸分解能：0.1 μm
• X 軸制御：ボールねじ + AC サーボモーター または リニアモーター
• Y 軸制御：デュアルボールねじ + AC サーボモーター または デュアルリニアモーター（オプション）
• Z 軸制御：ボールねじ + AC サーボモーター（減速機オプション）
• 最大積載マガジン数：3（125 mm 基準）
• マガジン幅：50 - 175 mm
• マガジン長さ：120 - 320 mm
• マガジン高さ：80 - 150 mm
• ストリップ幅：35 - 150 mm（35–54 mm は特別設計）
• ストリップ長さ：100 - 285 mm
• ストリップ厚さ：0.1 - 1.5 mm
• 最大ストリップ重量：0.5 kg
• 搬送 / 固定：ベルトコンベヤ
• クリアランス：上 7 mm；下 10 mm；エッジ 3 mm
• WxDxH（ローダー無し）：990 x 1495 x 1700 mm
• WxDxH（ローダー有り）：2065 x 1490 x 1700 mm
• 重量：823 kg（ローダー無し）；989.5 kg（ローダー有り）