光学式検査機器 TR7900Q SII-R

赤外線ビデオ ビジョンカメラ型

導入
TR7900Q SII-R は、半導体および先端パッケージング向けの3D自動検査・廃棄ステーションです。2.5 μmの高解像度イメージングプラットフォームとローダ/アンローダを統合し、ストリップやマガジンの取り扱いを簡素化します。ダイボンディング、ワイヤーボンディング、バンプ、はんだ接合を最大15 μmのワイヤ径まで検査できます。

主な特長

• ダイボンディング、ボール/ウェッジ/リボンワイヤーの高度なパッケージ欠陥検出
• 不良識別用インキングモジュール（インクプリンタ、インクペンはオプション）
• メトロロジー級測定が可能な2.5 μm高解像度3D AOI
• マガジン取り扱い用内蔵ローダ／アンローダ（最大3マガジン）
• ワイヤ検出のAIアルゴリズム（オプション）
• Au、Al、Ag、Cuワイヤを15 μmまで検査
• 内部クラックやチッピング検出用のSWIR照明オプション
• クリーンルーム対応：Class 100（ISO Class 5、ISO 14644-1）

光学システム
撮像方式：ストップ＆ゴー撮像方式（Stop-and-Go Imaging）
トップカメラ：25 Mpix
撮像分解能：2.5 μm
照明：マルチフェーズ True Color LED（SWIR オプション）
3D技術：クアッド デジタルフリンジプロジェクタ
最大3D高さレンジ：600 μm

欠陥マーキング方法
マーキング方法：インクプリンタ（インクペン オプション）

モーションテーブルと制御
X軸制御：リニアモーター
Y軸制御：デュアルリニアモーター
X-Y軸分解能：0.1 μm

基板/ストリップ取り扱い
最大スタックマガジン数：3（マガジン幅125 mm 基準）
マガジン寸法（W x L x H）：50 - 175 mm x 120 - 320 mm x 80 - 160 mm
ストリップ寸法（W x L x T）：35 - 180 mm x 100 - 300 mm x 0.1 - 1.5 mm
最大ストリップ重量：0.4 kg
ストリップキャリア / 固定：グリッパーコンベヤ
上クリアランス：15 mm
下クリアランス：6 mm
エッジクリアランス：3 mm

検査機能

ダイボンディング

• 欠損
• 方向不良
• 回転
• ずれ
• 傾き
• チッピング
• クラック
• キズ
• 異物
• ボンドライン厚さ
• ダイ上のエポキシ
• エポキシの被覆率
• エポキシ高さ

ワイヤーボンディング

• 断線
• ショート
• Sweep / Sink
• 欠損
• 揺れ
• 潰れ
• ループ高さ
• たるんだワイヤ
• クロスワイヤギャップ
• ワイヤ追跡
• ボール径
• ボール配置
• ステッチ幅
• ボール上のステッチ被覆
• ボールオフパッド
• ボール接触パッド距離
• クラブドボール
• ボール厚さ
• リフトボール
• ローランディング
• 汚染上のボンド
• 異物

ボンディング領域 / パッド

• 銅の突出
• クラック
• チッピング
• 露出銅
• 露出ニッケル
• ターゲット素材
• キズやブラシ跡
• 酸化
• 異物

寸法
WxDxH：2370 x 1455 x 1700 mm（信号塔は含まず；信号塔高さ 515 mm）
重量：1120 kg（Auto Load/Unload モジュール装着時 1280 kg）

技術仕様

• モデル：TR7900Q SII-R
• Brand: Test Research, Inc. (TRI)
• 撮像方式：Stop-and-Go Imaging
• トップカメラ：25 Mpix
• 撮像分解能：2.5 μm
• 3D技術：クアッド デジタルフリンジプロジェクタ
• 最大3D高さレンジ/測定範囲：600 μm
• 最大ワイヤ検査直径：最小15 μm
• 照明：マルチフェーズ True Color LED（SWIR オプション）
• 欠陥マーク：インクプリンタ（インクペン オプション）
• X軸制御：リニアモーター
• Y軸制御：デュアルリニアモーター
• X-Y軸分解能：0.1 μm
• 最大スタックマガジン数：3（125 mm マガジン幅基準）
• マガジン寸法（W x L x H）：50 - 175 mm x 120 - 320 mm x 80 - 160 mm
• ストリップ寸法（W x L x T）：35 - 180 mm x 100 - 300 mm x 0.1 - 1.5 mm
• 最大ストリップ重量：0.4 kg
• 上クリアランス：15 mm；下：6 mm；エッジ：3 mm
• 全体寸法（WxDxH）：2370 x 1455 x 1700 mm
• 重量：1120 kg（Auto Load/Unload モジュール装着時 1280 kg）
• クリーンルーム：Class 100 - ISO Class 5（ISO 14644-1）