SIOS Meßtechnikのレーザー干渉計

... トリプルリフレクタユニットが固定されたキャリッジの移動中に、長さ測定と同様にピッチ角とヨー角を同時に取得することで、運動軸を迅速かつ高精度に評価することができます。高速で簡単なセン サー調整は、特に重要です。 トリプルビーム レーザ 干渉計 SP 5000 TR は、3 つの 干渉計を 1 台にまとめた精密測長器です。3つの測定チャンネルはすべて、同じ安定性の高い レーザー周波数を持つ1つの光源から供給されます。そのため、3つの長さ値をナノメートルの精度で同時に測定することができます。 ...

... の高い測定結果が不可欠です。 当社の汎用 レーザー 干渉計「SP 5000 NG」は、高精度な長さ測定を実現するソリューションであり、新たな測定プロジェクトに合わせて、同製品ファミリーの追加コンポーネントをいつでも組み合わせて拡張することが可能です。 コンパクトなSP 5000 NG 干渉計は、取り扱いが容易であるだけでなく、迅速かつ簡単な調整が可能であることが特徴です。さまざまな環境や動作条件下でも、極めて高精度な測定結果を提供します。内蔵セン サーを利用した 干渉計の調整は、簡単、迅速、かつ非常に高精度 ...

... 当社の超高安定性差動 レーザー 干渉計「SP 5000 DI」は、独自の熱安定性を特徴としており、そのため、材料特性の分析など、研究開発における長期測定に最適です。 標準的な 干渉計とは対照的に、差動型では基準光がセン サーヘッドから導出され、測定光と平行に走ります。この構造により、測定の分解能や安定性に大きな影響を与えることなく、セン サーを実際の測定位置からより離れた場所に設置することが可能になります。 ...

... 長距離 レーザー 干渉計「SP 15000 NG」は、長距離での長さ測定のために特別に設計されたものであり、「SP 5000 NG」製品ファミリーの技術をさらに発展させたものです。セン サーヘッドには、長距離測定に最適化された レーザービームを実現するための追加光学系が搭載されています。 大型の座標測定機や工作機械、長い直線軸、および校正距離が、この高精度リニアエンコーダの主な用途となります。測定プロセスにおいて、測定結果の正確性には、室内の温度分布や測定場所の温度分布が決定的な役割を果たします。 ...

... 超高安定性かつコンパクトなSP 5000 DI/F差動 干渉計は、長期間にわたり極めて安定した長さ測定が求められる用途向けに設計されています。コンパクトなセン サー設計により、狭いスペースでも長期にわたり安定した調整と設置が可能であり、この高精度測定システムは閉ループ制御用の レーザースケールとして最適です。 この用途では、測定値の安定性を最適化するために、通常は測定範囲の中央に外部基準点を設置する必要があります。この 干渉計の基本原理はSP ...

... SP 5000 DS ダブルビーム レーザー 干渉計は、長さ情報に加えて運動角度の同時取得を必要とする測定作業に使用されます。この 干渉計の測定原理は、SP 5000 NG 測定装置に基づいています。 2本の測定 レーザービームは、同じ周波数を持つ共通の レーザーの光を利用しています。 2つの測定 レーザービーム間のビーム間隔は、高精度に校正されています。測定ビーム同士の平行度は極めて重要です。両ビームが共通の反射鏡を使用する場合、その差分を求めることで、動作中の角度を高分解能で測定・算出することができます。 ...

... であり、最終的に高い位置決め精度につながります。 SP 15000 C6 NG 校正 レーザー 干渉計は、三次元測定機や高精度工作機械メーカーの要求を満たすために特別に開発されました。同期・連続測定が可能で、オプションのロール角セン サーを併用すれば6自由度測定も可能です。測定された長さ、ピッチ角、ヨー角、XYアライメントの真直度は、3つの長さ測定チャンネルすべてで同じ安定性の高い レーザー周波数を使用し、 レーザー 干渉法によって高精度に取得されます。 オプションのソフトウェアを使用することで、完全な機械受入 ...

... 製品説明
SP 5000 DI/DSは、差動 干渉計の原理と多線 干渉計を組み合わせ、長さと角度（チルト）の同時かつ高い安定性を持つ測定を実現します。この構成により、広い領域での極微小な変位やわずかな傾きを検出し、熱的・環境的影響の感度を低減します。

主な特長

• 四光束レーザー干渉方式の変位・角度差分測定システム
• 差動による安定した長さおよびピッチ（角度）測定
• XYステージや平面鏡への組み込みを想定した