耐熱高性能フィルタと当社独自の冷却器の搭載で高温ベークが可能
温度安定時には槽内クラス100を維持可能
熱風フローは、前面吹き出し型水平循環(V型)と、サイドフロータイプ(Ⅲ型)があり、高い熱効率と良好な温度均一性を実現
半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等の高精度処理が要求される用途に最適
不活性ガスを槽内に導入することでイナートガスオーブンとしての使用も可能
熱風フロー方向で、側面吹き出し方式のⅢ型と前面吹き出し方式のV型の2種類を準備。
耐熱型の高性能フィルターと独自冷却器の搭載で最高530℃まで(V型は500℃まで)の高温処理が行えるクリーンオーブンです。熱風循環方式による良好な温度均一性とクラス100(温度安定時)の空気清浄度で半導体ウェハー、ガラス基板のベーキング、エージングなど高温・高精度な処理が要求される用途に最適です。窒素(N2)ガスを槽内に導入することで残存酸素濃度20ppm以下で使用することも可能です。