硬化炉 CLH Series
時効焼きなましチャンバー

硬化炉
硬化炉
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特徴

機能
時効, 焼きなまし
形状
チャンバー
その他の特徴
高温
温度

450 °C, 500 °C, 530 °C (842 °F)

詳細

耐熱性高性能フィルターと独自の冷却ユニットにより、クリーンな環境での高温焼成が可能です。 熱風循環システムは、ウェハおよびガラス基板の焼成/老化、ポリイミド硬化、アニーリングを非常に正確に実行するために使用されます。 特長 耐熱性高性能フィルターと当社独自の冷却ユニットが設置され、高温ベーキングが可能です。 温度が安定していれば、チャンバー内部はクラス100の清浄度を維持することができます。 熱風送風機には、水平循環式フロントサイド送風機(タイプV)とサイド送風機(タイプIII)の2種類があります。 どちらも高い熱効率と良好な温度均一性を実現します。 このタイプのオーブンは、半導体ウェハおよびガラス基板焼成、老化、高精度を必要とするその他の熱処理に最適です。 不活性ガスをチャンバーに導入して、オーブンを不活性ガスオーブンとして使用することができます。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。