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熱処理炉
VF-5900
酸化
キャビネット
電動
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Koyo Thermos Systemsのサイトについての詳しい情報
特徴
機能
熱処理, 酸化
形状
キャビネット
熱源
電動
雰囲気
制御空気下
その他の特徴
航空用
詳細
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシップモデル。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能なラージバッチ量産タイプの縦型拡散炉です。LGOヒータの採用で低温~中高温まで優れた温度特性を発揮します。シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に適しています。
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