チャンバー炉 SO2-12-F
電動空気循環

チャンバー炉
チャンバー炉
お気に入りに追加する
商品比較に追加する
 

特徴

形状
チャンバー
熱源
電動
雰囲気
空気循環
温度

最少: 70 °C (158 °F)

最大: 450 °C (842 °F)

詳細

300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン。 FOUP対応で50枚/1チャンバーの全自動処理が可能。ポリイミドキュアなどの低温処理に。 FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能、50枚/1チャンバーの処理が可能で2チャンバーまでの増設が可能です。(1チャンバーあたり2FOUPで運用)ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。