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チャンバー炉 SO2-12-F電動空気循環
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特徴
- 形状
- チャンバー
- 熱源
- 電動
- 雰囲気
- 空気循環
- 温度
最大: 450 °C
(842 °F)最少: 70 °C
(158 °F)- 幅
3,000 mm
(118.11 in)- 高さ
3,105 mm
(122.24 in)- 奥行き
2,200 mm
(86.61 in)
詳細
300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン。
FOUP対応で50枚/1チャンバーの全自動処理が可能。ポリイミドキュアなどの低温処理に。
FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能、50枚/1チャンバーの処理が可能で2チャンバーまでの増設が可能です。（1チャンバーあたり2FOUPで運用）ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。
