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Koyo Thermos Systems
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焼きなまし炉
RLA-4106-V
チャンバー
真空
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特徴
機能
焼きなまし
形状
チャンバー
雰囲気
真空
温度
最大:
1,200 °C
(2,192 °F)
最少:
400 °C
(752 °F)
詳細
チャンバおよび搬送部に真空ロードロックを標準搭載、高いスループットを実現 SiCやGaNウェーハ向けにサセプタ自動載せ替え機能搭載 上下ともハロゲンランプをクロスに設置 6ゾーン制御で簡易に各々のパワー比率が設定可能 放射温度計により非接触でワークの温度を測定し、フィードバック制御が可能 本装置は、複数のハロゲンランプを熱源とし、ウェーハのアニールを短時間で高精度に処理する目的の生産用装置です。
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
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