酸化炉 RLA-1200アニーリングベルガス

酸化炉
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参考価格 

特徴

機能
酸化, アニーリング
形状
ベル
熱源
ガス
雰囲気
窒素加工
その他の特徴
エレクトロニクス産業用
温度

最大: 1,200 °C (2,192 °F)

最少: 400 °C (752 °F)

詳細

4~8インチウェーハ対応、R&Dにおいても高品位処理を実現したランプアニール装置。 真空(LP)環境・N2ロードロック雰囲気での活性化、酸化処理が可能。 200℃/秒の高速昇温、4~8インチウェーハ対応、手動サセプター搬送の採用で低コスト化を実現したR&D向けランプアニール装置です。ハロゲンランプによる上下クロスランプ構造採用で優れた面内温度均一性を実現、低コストと高品位処理を両立しています。耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。